MX12R技術(shù)規(guī)格。

光學(xué)系統(tǒng)：無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式：明場/暗場/偏光/DIC

觀察筒：無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，0-35°傾角可調(diào)，正像， 瞳距調(diào)節(jié):50-76mm，分光比100:0 或0:100。

目鏡：高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版

物鏡：明暗場半復(fù)消金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X）

         超長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡（20X） 

         長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡（50X、100X）

         明場半復(fù)消金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） 

         超長工作距明場半復(fù)消金相物鏡（20X）

轉(zhuǎn)換器：明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽

機(jī)架組：反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)

           透反機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)

載物臺：12 英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用）

照明系統(tǒng)：12V100W鹵素?zé)?, 明暗場反射照明器,帶可變電動孔徑光闌，視場光闌,中心均可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像：0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦

其他：起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC組件；12寸晶圓盤