詳細(xì)介紹
MX12R技術(shù)規(guī)格。
光學(xué)系統(tǒng):無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀(guān)察方式:明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC
觀(guān)察筒:無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀(guān)察筒,0-35°傾角可調(diào),正像, 瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比100:0 或0:100。
目鏡:高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版
物鏡:明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)
超長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡(20X)
長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡(50X、100X)
明場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)
超長(zhǎng)工作距明場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡(20X)
轉(zhuǎn)換器:明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽
機(jī)架組:反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)
透反機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)
載物臺(tái):12 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺(tái)面積 718mmX420mm,移動(dòng)范圍 :356mmX305mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ;玻璃載物臺(tái)板 ( 反射用)
照明系統(tǒng):12V100W鹵素?zé)?, 明暗場(chǎng)反射照明器,帶可變電動(dòng)孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像:0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦
其他:起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;反射用干涉濾色片組;高精度測(cè)微尺;DIC組件;12寸晶圓盤(pán)
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