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詳細介紹
. 測量原理
sensortechnics公司LBA差壓傳感器測量超低空氣或氣體的壓力從25Pa(0.1 inH2O) 全量程范圍.
傳感器內置新的**的MEMS技術, 在硅傳感器芯片內部, 它內置了微流通道. 同時傳感器使用被證實的一個原理:通過一個熱式質量流量測量推斷壓力; 一個加熱元素, 兩個熱敏傳感器被放置在加熱元素兩端. 一個氣體流過, 先后經由兩個熱敏傳感器, 導致一個溫度差異, 由此產生一個電壓信號, 該信號和質量流速成比例. 因為流速是由兩個傳感器口的壓差所導致, 所以輸出信號也是測量供應的差壓力.
表2顯示了一個基礎的LBA傳感器未經放大的輸出. 功能是顯示壓力差. LBA技術特點是寬動態(tài)范圍和高靈敏性, 特別是在零壓力附近的超低壓范圍. Sensortechnics公司LBA傳感器提供模擬量校正, 溫度補償和預防大. 他們可以被優(yōu)化到不同的應用環(huán)境.
2. 傳感器結構
LBA傳感器基于一個硅傳感器芯片, 只有大約4mm2, 它包含一個微流體通道、傳感元素、 和一個全模擬的CMOS信號電路。 傳感器芯片內部內置了一個超微通道， Sensortechnics的LBA傳感器能夠完成高氣阻性可以達到200，000pa（ml/s），和同類的傳感器相比， 可以達到1000倍， 這個優(yōu)勢減少了氣體流量的決定值降低， 允許應用在骯臟或濕度大的環(huán)境， 或者是有長管道連接或慮器的環(huán)境。
傳統(tǒng)熱質式壓力傳感器， 氣體流量通道是由封裝的塑料結構實現， 相比較， Sensortechnics的微流量LBA系列是被定義在硅芯片水平。 這個特點允許傳感器在設計結構的可變性， 很小化和穩(wěn)定的封裝及減少 生產成本。 更重要的是半導體技術可以減少產品的公差。
3．使用差壓傳感器進行流量測量
差壓傳感器可以測量非常低的壓力范圍只有幾毫巴， 這種特點可以應用在細管和管道容量測量。 例如在上的流量測量和HVAC上的濾器控制。一個人造的流阻，如小口徑， 層流元素等， 通過測壓力推算流速。
Sensortechnics的壓力傳感器LBA可以校正不同的壓力， 可以監(jiān)測壓力的下落當通過一個流體部件，LBA被旁路安裝。由于傳感器本身的氣阻， 要求通過傳感器的流速被限制在*大120-180ul/min。這幾乎意味著LBA相當于一個膜式差壓傳感器， 幾乎不允許任何流體通過。這因為如此， 它對于極低的壓力有很高的靈敏性。
4．對長管連接和入口濾器的**性。
為了測量流量，基于流速的差壓傳感器必須要連接主管路， 請參看表4。有時候，額外的濾器必須被連接到旁路以保護傳感器防止臟物， 濕氣，病毒的侵蝕。但是位于主路旁路之間的任何部件,都將導致一個壓力的下降. 所以壓力傳感器所測量出來的壓力實際并不是真實的壓力差值, 這個結果導致主通道氣體流速測量不準確. 連接在流路上的管道或濾器越多, 誤差越大; 因此, 傳統(tǒng)的流量式差壓傳感器會限制管道的長度 或者是給出一個公式來補償旁路掉的壓力.
一個一米管長, 內徑在1.6mm的管子大致會導致氣阻在120pa(ml/s); Sensortechnics公司LBA傳感器內部氣阻可以實現200,000pa(ml/s)-是普通的氣阻16667倍, 這意味著, 由于旁路導致的壓力的降低幾乎是沒有的. 因此LBA傳感器可以連接很長的管子, 濾器或其它啟動部件,而不會導致壓力的降低. 即使一些氣路元件隨著時間的推移,氣阻發(fā)生變化, 仍然不會影響測量的準確性.
5. 對臟物的**性
如果流量式壓力傳感器被應用在骯臟的環(huán)境測量流量, 如HVAC環(huán)境下, 臟物進到傳感器內或附著在管道內部, 這將導致傳感器的氣阻增加, 從而導致輸出信號降低和測量錯誤. 在特別惡劣的環(huán)境, 管道甚至會被堵住,造成傳感器無法測量; 還有情況是, 傳感器被臟物堵住, 影響測量結果.
Sensortechnics公司LBA傳感器對臟物有**性. 由于它的高氣阻, 流經傳感器的氣流非常之少, 這意味著臟物將不容易被攜帶到傳感器內部, 這確保了測量的準確性和傳感器的長壽命.
6. 對濕度的**性
在許多的醫(yī)療設備, 如, ,睡眠診斷設備, 制氧機等, 病人的呼吸量被控制通過熱質式差壓傳感器. 由于呼吸的流量要求保持一定的濕度和溫度, 水滴會停留在管道和傳感器內部. 如果水滴量被積累到一定的程度,超過某尺寸它將影響測量的準確性., 這將導致一個錯誤的傳感器輸出, *壞的情況, 會導致流路被堵塞, 甚至傳感器損害.
Sensortechnics公司LBA傳感器對濕度有**性, 由于它的高氣阻特性. 流經傳感器的氣體非常之少.這意味著測量將不會被影響,并且保持傳感器的長壽命.
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