(水質指標均符合美國的ASTM標準，符合電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級) 

    預處理－反滲透－ 水箱－陽床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－精密過濾器－用水對象 

    預處理－一級反滲透－加藥機（PH調節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象 

    預處理－二級反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象 

    預處理－二級反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象 .

應用場合 

· 系統(tǒng)適合用于半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路的場所； 

· 適合應用于超純材料和超純化學試劑； 

· 實驗室和中試車間 

· 汽車、家電表面拋光處理； 

· 其他高科技精微產(chǎn)品。