貨號

CS-3200S4

測量范圍/ 分辨力

X 軸

100mm/0.05μm

Z1 軸 (檢出器)

5mm/0.08μm

0.5mm/0.008μm

0.05mm/0.0008μm

Z2 軸 (立柱)

1 μm

精度(20oC)

X 軸

±(0.8+0.01L) μm (L= 測量長度(mm))

Z1 軸 (檢出器)

±(1.5+|2H|/100) μm  H = 水平位置上的測量高度 (mm)

驅(qū)動部

直線度 (X 軸)

正常使用下

0.2μm/100mm

當(dāng)伸出到

0.4μm/100mm

測量速度

表面粗糙度測量

0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (4-step)

輪廓測量

0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (7級)

驅(qū)動速度

X 軸 (水平方向)

0 to 80mm/s 外加手動

Z2 軸 (垂直方向)

0 to 20mm/s 外加手動

上/下移動

300mm (電動)

傾角范圍

±45o

檢出器

檢出方式

差動感應(yīng)

測力

0.75mN

測針名稱

標(biāo)準(zhǔn)測針 (用于粗糙度/輪廓測量)

針尖角度: 60o 圓錐, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖

圓錐型 (用于輪廓測量)

針尖角度: 30o 圓錐, 針尖半徑: 25μm, 藍寶石針尖

測針上/ 下運作

適用 (可在半空停頓)