貨號

CS-5000CNC 

CS-H5000CNC

X1 軸

測量范圍

200mm 

分辨力

0.00625μm 

長度基準

激光全息測微計

驅動速度

CNC型

40mm/s 

操縱桿

0 - 40mm/s

測量速度

 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)

測量方向

向前/ 向后 

直線度

(使用標準測針) 

(0.1+0.0015L)μm    L: 驅動長度 (mm) 

(0.05+0.0003L)μm    L: 驅動長度 (mm)

(使用二倍長型測針)

(0.2+0.0015L)μm    L: 驅動長度 (mm)

(0.1+0.0015L)μm    L: 驅動長度 (mm) 

精度 (20oC)

±(0.3+0.002L)μm    L: 驅動長度 (mm) 

±(0.16+0.001L)μm    L: 驅動長度 (mm)

Z1 軸 (檢出器)

測量范圍

(使用標準測針) 

12mm

12μm

(使用二倍長型測針) 

24mm

24μm

分辨力

(使用標準測針) 

0.004 μm

0.001 μm

(使用二倍長型測針)

0.008 μm

0.002 μm

測針針尖垂直運動

 弧形移動

長度基準 

激光全息測微計

精度 (20oC)

(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm  H: 測量高度 (mm) 

±(0.07+|0.02H|)μm  H: 測量高度 (mm)

測力

(使用標準測針) 

4mN (固定)

(使用二倍長型測針)

 0.75mN(固定)

跟蹤角度

向上: 60o, 向下: 60o, (根據表面粗糙度)

測針針尖形狀

標準測針

針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 

標準球頭測針

球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針

 2倍測針

針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 

 2倍測針

-

 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖 2倍球頭測針

2倍球頭測針

球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 

測針方向

 向下

Z2 軸 (立柱)

行程范圍

Z2 軸 (立柱, S 型)

300mm

Z2 軸 (立柱, H 型)

500mm-

分辨力

0.05μm

長度基準

反射型線性編碼器

驅動速度

CNC型

 200mm/s 

 操縱桿

 0 - 50mm/s 

基座尺寸 (W×D) 

750×600mm

基座材料

花崗巖