型號

RA-H5200 CNC

Z軸立柱

標準立柱

高立柱

(垂直移動: 300mm)

(垂直移動: 500mm)

旋轉(zhuǎn)工作臺

旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997)

徑向

(0.02+3.5H/10000)μm  H: 為測量高度 (mm)

軸向

(0.02+3.5X/10000)μm   X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺軸的距離 (mm)

旋轉(zhuǎn)速度

2, 4, 6, 10rpm (自動定心: 20rpm)

工作臺有效直徑

Φ300mm

調(diào)心范圍

±5mm

調(diào)水平范圍

±1o

臺面承重

80kg (自動定心: 65kg)

測量直徑

Φ356mm

工件直徑

Φ680mm

垂直移動(Z軸立柱)

移動直線度(λc2.5)

窄范圍

0.05μm/100mm

寬范圍

0.14μm/350mm

0.2μm/550mm

與轉(zhuǎn)臺軸平行度(母線要素基準)

0.2μm/350mm

0.32μm/550mm

移動范圍

350mm

550mm

定位速度

: 60mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢測高度

350mm

550mm

檢測深度(使用標準測頭時)

Φ32×104mm (深度), Φ12.7×26mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

0.4μm/200mm

與轉(zhuǎn)臺軸垂直度 (母線要素基準)

0.5μm/200mm

移動范圍

225mm (–25mm ~ +200mm 轉(zhuǎn)臺中心)

定位速度

: 50mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢出器

測力

約 40mN

標準測頭, 材質(zhì)

Φ1.6mm 硬質(zhì)合金

范圍

標準

±400μm/±40μm/±4μm

跟蹤

±5mm

其他

旋轉(zhuǎn)機構(gòu) (0? ～ 270? 的范圍內(nèi)以1? 增量旋轉(zhuǎn))

其他

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量 (標準狀態(tài))

45L/min (120L/min 以上氣源)

重量

測量主體

650kg

670kg

防震臺架

170kg