LEGEX系列為超高精度CNC三坐標(biāo)測量機，具有世界上高精度水平，對大部分可能產(chǎn)生誤差的因素進行嚴(yán)格分析并較大程度地降低其影響。固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上運行確保了良好的運動穩(wěn)定性和高幾何精度。采用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬的測試保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。另外，其他多種技術(shù)如抗振測量等用于驅(qū)動單元結(jié)構(gòu)中，實現(xiàn)了高精度。