詳細介紹
特點:
◆消除串擾并提供更準確地XY掃描
◆無需軟件后處理就可以得到精確的高度測量
◆樣品測量選項最多
◆全面的SPM模式
◆業(yè)內(nèi)最多的可選功能和升級選項
規(guī)格參數(shù):
| 型號 | Park XE7 | |
| 掃描儀 | XY掃描儀 | 10um*10um(可選50um*50um或100um*100um) |
| Z掃描儀 | 12um(可選25um) | |
| 形貌噪音 | <0.03nm(標準值0.02nm) | |
| 光學 | 物鏡 | 10X(20X可選) |
| 電子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
| ADC | 500 kHz采樣20個16位ADC的頻道 | |
| DAC | 500 kHz沉降21個16位DAC的頻道 | |
| 樣品臺 | XY平臺行程 | 13mm X 13mm |
| Z平臺行程 | 29.5mm | |
| 聚焦平臺行程 | 70mm | |
| 樣品尺寸 | 高達100mm X 100mm最多厚20mm | |
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