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詳細(xì)介紹
特點：
◆*的多樣品掃描減少了停機(jī)時間
◆200mm X 200mm的大樣本尺寸提供了比較多的可能性
◆具有包容性的掃描模式組合可以適應(yīng)大多數(shù)的需要
◆非常適合公共實驗室和用戶中心
規(guī)格參數(shù)：
| 型號 | Park XE15 | |
| 掃描儀 | XY掃描儀 | 100um*100um |
| Z掃描儀 | 12um(可選25um） | |
| 形貌噪音 | <0.05nm(標(biāo)準(zhǔn)值0.02nm） | |
| 光學(xué) | 物鏡 | 10X （可選20X） |
| 電子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
| ADC | 500 kHz采樣20個16位ADC的頻道 | |
| DAC | 500 kHz沉降21個16位DAC的頻道 | |
| 樣品臺 | XY平臺行程 | 150mm x 150mm |
| Z平臺行程 | 27.5mm | |
| 聚焦平臺行程 | 20mm | |
| 樣品尺寸 | 150mm，厚度小于20mm | |
| 物理信息 | 外形尺寸 | 820mm（長）X920mm（寬）X1280mm（高） |
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