濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

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目錄

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

1.1 型號(hào)含義............................................................1

1.2 柜體結(jié)構(gòu)圖..........................................................1

1.3 主要功能 2

1.3.1 為機(jī)臺(tái)做工藝提供濕氧........ 2

1.3.2 源瓶加熱與恒溫.................................................2

1.3.3 源管道伴熱與恒溫................................................2

1.3.4 源瓶液位監(jiān)測(cè)....................................................2

1.3.5 源瓶壓力監(jiān)測(cè)及保護(hù)..............................................2

1.3.6 源瓶定時(shí)換水....................................................3

1.3.7 源瓶漏水監(jiān)測(cè)....................................................3

1.3.8 超純水水質(zhì)檢測(cè)..................................................3

1.3.9 超純水缺乏監(jiān)測(cè)..................................................3

1.3.10 廢水收集與外排.................................................3

1.3.11 異常、故障報(bào)警..................................................3

1.3.12 與機(jī)臺(tái)信號(hào)對(duì)接.................................................4

1.4 使用環(huán)境 5

1.5 技術(shù)參數(shù) 5

1.6 應(yīng)用配置 6

二、二次配安裝 6

2.1 電源..................................................................6

2.2 空壓氣 6

2.3 氮?dú)?6

2.4 超純水 6

2.5 排廢水................................................................6

2.6 信號(hào)對(duì)接...........................................................6

三、系統(tǒng)畫(huà)面 7

3.1 首頁(yè) 7

3.2 控制界面 8

3.3 參數(shù)設(shè)置 9

3.4 報(bào)警記錄 10

3.5 換水記錄 11

四、設(shè)備操作 12

4.1 狀態(tài)指示 12

4.2 開(kāi)機(jī)操作 12

4.3 手動(dòng)控制 12

4.4 停機(jī)操作 12

五、故障報(bào)警 13

六、注意事項(xiàng) 14

6.1 設(shè)備操作.............................................................14

6.2 參數(shù)設(shè)定 14

6.3 水位調(diào)節(jié) 14

6.4 開(kāi)門作業(yè) 14

七、應(yīng)急處理 15

7.1 人體燙傷 15

7.2 源瓶爆裂 15

八、日常巡檢與檢修保養(yǎng) 15

8.1 日常巡檢 15

8.2 檢修保養(yǎng).............................................................15

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

1.1 型號(hào)含義

濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

型號(hào)：FHWG-JWG6P

含義：F福雪萊；HWG恒溫柜；JW加溫；G光電檢測(cè)液位；6P六個(gè)源瓶槽位

1.2 柜體結(jié)構(gòu)圖

1.3 主要功能

1.3.1 為機(jī)臺(tái)做工藝提供濕氧（濕氧工藝）

說(shuō)明：

1、裝有一定量超純水的源瓶水溫加熱到設(shè)定溫度并恒溫后，爐管方可做工藝；

2、工藝用氧氣先通入瓶?jī)?nèi)水底鼓泡后再進(jìn)入爐管反應(yīng)室。（如下圖）

1.3.2 源瓶加熱與恒溫

說(shuō)明：

1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、發(fā)熱組件、源瓶液位計(jì)等完成控制；

2、源瓶開(kāi)關(guān)打開(kāi)后(即自動(dòng)運(yùn)行)，如瓶?jī)?nèi)水量達(dá)到低液位則加熱直到設(shè)定溫度并恒溫；

3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報(bào)警輸出。

1.3.3 源管道伴熱與恒溫

說(shuō)明：

1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、伴熱帶等完成控制；

2、源瓶開(kāi)關(guān)打開(kāi)后(即自動(dòng)運(yùn)行)，如瓶?jī)?nèi)水量達(dá)到低液位則加熱直到設(shè)定溫度并恒溫；

3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報(bào)警輸出。

1.3.4 源瓶液位監(jiān)測(cè)

說(shuō)明：

1、每個(gè)源瓶均安裝有高、低光電液位計(jì)（位置可調(diào)）；

2、正常使用時(shí)液位為低液位至高液位之間；

3、液位低于低液位為異常并報(bào)警輸出。

1.3.5 源瓶壓力監(jiān)測(cè)及保護(hù)

說(shuō)明：

1、每個(gè)源瓶均安裝有泄壓閥及壓力傳感器；

2、當(dāng)源瓶?jī)?nèi)壓力≥設(shè)定壓力時(shí)，自動(dòng)打開(kāi)泄壓閥泄壓；

3、當(dāng)源瓶?jī)?nèi)壓力持續(xù)≥設(shè)定壓力時(shí)，壓力異常報(bào)警輸出。

1.3.6 源瓶定時(shí)換水

說(shuō)明：

1、每個(gè)源瓶?jī)?nèi)的水都可以通過(guò)設(shè)定時(shí)間周期性換水；

2、換水時(shí)需要滿足條件：自動(dòng)運(yùn)行+定時(shí)時(shí)間已到+工藝剛結(jié)束；

3、換水時(shí)需要先將瓶?jī)?nèi)原水排干，利用氮?dú)饧涌斓嘏潘按祾撸?/p>

4、源瓶排水的同時(shí)打開(kāi)超純水過(guò)水閥進(jìn)行水質(zhì)檢測(cè)；

5、每次換完水自動(dòng)重新計(jì)時(shí)；

6、水質(zhì)檢測(cè)合格后，方可往源瓶灌水。

1.3.7 源瓶漏水監(jiān)測(cè)

說(shuō)明：

1、柜內(nèi)源瓶分兩層放置，每層3個(gè)，每層一個(gè)接水盤，上下接水盤串接后引管到蓄水池；

2、接水盤管道上安裝非接觸式液位計(jì)；

3、當(dāng)源瓶漏水或爆裂時(shí)，水會(huì)流到接水盤順著管道流到蓄水池，液位計(jì)感應(yīng)到信號(hào)后發(fā)出報(bào)警。

1.3.8 超純水水質(zhì)檢測(cè)

說(shuō)明：

1、源瓶每次灌水時(shí)（包括手動(dòng)操作）都需要xian進(jìn)行水質(zhì)檢測(cè)，合格之后才可以往源瓶?jī)?nèi)灌水；

2、水質(zhì)檢測(cè)可以自動(dòng)也可以手動(dòng)，每過(guò)水5min后檢測(cè)一次，如合格則不再進(jìn)行過(guò)水檢測(cè)；

3、如水質(zhì)連續(xù)三次檢測(cè)不合格，發(fā)出水質(zhì)異常報(bào)警，需要人工確認(rèn)復(fù)位。

1.3.9 超純水缺乏監(jiān)測(cè)

說(shuō)明：

1、超純水管道進(jìn)入柜內(nèi)后分兩路走：一路去到源瓶的補(bǔ)水閥（源瓶灌水）；一路經(jīng)過(guò)水閥后接到蓄水池（水質(zhì)檢測(cè)過(guò)水）；

2、過(guò)水閥前面管道上安裝非接觸式液位計(jì)；

3、當(dāng)超純水缺乏時(shí)，液位計(jì)感應(yīng)到信號(hào)后發(fā)出報(bào)警。

1.3.10 廢水收集與外排

說(shuō)明：

1、源瓶換水時(shí)原水排放需要容器收容（蓄水池）；

2、超純水水質(zhì)檢測(cè)每次過(guò)水5min，需要容器收容（蓄水池）；

3、蓄水池上安裝電極式液位計(jì)及排水泵；

4、當(dāng)蓄水池液位上升到高液位時(shí)啟動(dòng)排水泵外排廢水，排水泵也可以手動(dòng)控制；

1.3.11 異常、故障報(bào)警

說(shuō)明：

1、當(dāng)設(shè)備發(fā)生任何異?；蚬收蠒r(shí)均發(fā)出報(bào)警；

2、報(bào)警的方式：a、蜂鳴器；b、顯示屏；c、傳上位機(jī)；

1.3.12 與機(jī)臺(tái)信號(hào)對(duì)接

說(shuō)明：

1、1～6#管工藝狀態(tài)信號(hào)，繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)，用于判斷是否在工藝；

2、1～6#管不工藝狀態(tài)信號(hào)，繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)，用于判斷工藝是否結(jié)束；

3、1～6#源瓶換水請(qǐng)求信號(hào)，繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)，直到換水完成，用于告知機(jī)臺(tái)源瓶在換水；

4、水質(zhì)合格信號(hào)，繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)，直到換水完成，用于告知機(jī)臺(tái)此次換水水質(zhì)檢測(cè)合格；

5、1～6#源瓶恒溫就緒信號(hào)，繼電器常開(kāi)觸點(diǎn)，用于告知機(jī)臺(tái)換水完成且加熱恒溫可以開(kāi)始做工藝；

6、1～6#源瓶溫度異常信號(hào)，繼電器常閉觸點(diǎn)，用于告知機(jī)臺(tái)該源瓶溫度波動(dòng)異常；

7、1～6#源瓶高液位信號(hào)，繼電器常閉觸點(diǎn)，用于告知機(jī)臺(tái)該源瓶出現(xiàn)高液位；

8、1～6#源瓶低液位信號(hào)，繼電器常閉觸點(diǎn)，用于告知機(jī)臺(tái)該源瓶出現(xiàn)低液位；

9、源瓶漏水信號(hào)，繼電器常閉觸點(diǎn)，用于告知機(jī)臺(tái)柜內(nèi)有源瓶漏水；

1.4 使用環(huán)境

1、地面平整，通風(fēng)良好；

2、周圍無(wú)強(qiáng)烈振動(dòng)；

3、周圍無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)影響；

4、周圍無(wú)易燃、易爆、腐蝕性物質(zhì)和粉塵；

5、周圍留有足夠的使用及維護(hù)空間；

6、環(huán)境溫度：10℃～45℃；

7、環(huán)境濕度：≤80%RH。

1.5 技術(shù)參數(shù)

1.6 應(yīng)用配置

二、二次配安裝

2.1 電源：三相交流380V、50Hz、約3.5KW；

2.2 空壓氣：6-8公斤壓力；

2.3 氮?dú)猓?-3公斤壓力；

2.4 超純水進(jìn)水管：4/1鐵氟龍管；

2.5 蓄水池排水管：內(nèi)徑8MM軟管；

2.6 信號(hào)對(duì)接。

三、系統(tǒng)畫(huà)面

3.1 首頁(yè)

? 用戶登錄：點(diǎn)擊登錄現(xiàn)有用戶賬號(hào)，屏幕右上角顯示當(dāng)前登錄“用戶名"；系統(tǒng)出廠自帶用戶賬號(hào)有（管理員、工程師、操作員），均無(wú)密碼選好用戶點(diǎn)擊登錄即可，用戶可根據(jù)需要自行創(chuàng)建密碼以及登錄注銷時(shí)間。

? 注意: 設(shè)備使用及操作應(yīng)使用賬號(hào)權(quán)限分配并做好管理，“管理員"賬號(hào)擁有zui高權(quán)限應(yīng)由設(shè)備負(fù)責(zé)人掌管；自行創(chuàng)建的賬號(hào)密碼要記得，否則后續(xù)將無(wú)法登錄該賬號(hào)。

? 用戶注銷：點(diǎn)擊注銷當(dāng)前登錄的用戶賬號(hào)，屏幕右上角顯示當(dāng)前登錄“無(wú)用戶"。

? 用戶編輯：點(diǎn)擊修改、增加、刪除用戶賬號(hào)信息，操作前需要先登錄“管理員"賬號(hào)（擁有zui高權(quán)限），不能刪除“管理員"賬號(hào)。

? 控制界面：點(diǎn)擊進(jìn)入控制界面畫(huà)面。

? 參數(shù)設(shè)置：點(diǎn)擊進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫(huà)面。

? 報(bào)警記錄：點(diǎn)擊進(jìn)入報(bào)警記錄畫(huà)面。

? 換水記錄：點(diǎn)擊進(jìn)入換水記錄畫(huà)面。

? 所有子畫(huà)面屏保時(shí)間內(nèi)（預(yù)設(shè)3min，可在參數(shù)畫(huà)面修改）持續(xù)無(wú)操作均會(huì)退出返回到首頁(yè)畫(huà)面，然后息屏。

3.2 控制界面

? 源瓶溫度：顯示當(dāng)前源瓶溫度值。

? 伴熱溫度：顯示當(dāng)前源管道伴熱溫度值。

? 瓶?jī)?nèi)壓力：顯示當(dāng)前源瓶?jī)?nèi)壓力值。

? 換水計(jì)時(shí)：顯示源瓶到達(dá)下一次換水的剩余時(shí)間。

? 蜂鳴器：在設(shè)備有故障報(bào)警且短時(shí)間內(nèi)無(wú)法處理平息情況下可以點(diǎn)擊圖標(biāo)進(jìn)行關(guān)閉止鬧，正常運(yùn)行中請(qǐng)打開(kāi)，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障。

? 照明：某些情況下照明自動(dòng)打開(kāi)，可點(diǎn)擊圖標(biāo)手動(dòng)開(kāi)/關(guān)操作。

? 閥門開(kāi)關(guān)：源瓶不使用狀態(tài)下可點(diǎn)擊圖標(biāo)手動(dòng)開(kāi)/關(guān)操作。

? 源瓶開(kāi)關(guān)：點(diǎn)擊源瓶圖標(biāo)可切換源瓶使用狀態(tài)，顯示禁用圖標(biāo)為不使用狀態(tài)，不顯示禁用圖標(biāo)為使用狀態(tài)；使用狀態(tài)（即自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)）可以正常加熱、恒溫、自動(dòng)換水及顯示相關(guān)報(bào)警等；不使用狀態(tài)則相反。

? 蓄水池圖標(biāo)：蓄水池變成綠色為蓄水池滿水狀態(tài)，會(huì)自動(dòng)排水，如長(zhǎng)時(shí)間為綠色請(qǐng)檢查相關(guān)故障；排水泵可點(diǎn)擊圖標(biāo)手動(dòng)啟/停操作。

? 源瓶高低水位：源瓶的高、低液位檢測(cè)（阻擋時(shí)動(dòng)作），源瓶?jī)蓚?cè)會(huì)顯示相應(yīng)標(biāo)識(shí)以及源瓶變綠色。

? 過(guò)水時(shí)間、次數(shù)、電導(dǎo)率、水質(zhì)結(jié)果：顯示水質(zhì)檢測(cè)過(guò)程。

? 4～6管：切換到4～6管源瓶的控制界面。

? 異常確認(rèn)：當(dāng)水質(zhì)檢測(cè)連續(xù)三次不合格時(shí)，會(huì)報(bào)水質(zhì)異常，需要人工確認(rèn)復(fù)位。

? 返回首頁(yè)：點(diǎn)擊返回首頁(yè)。

3.3 參數(shù)設(shè)置

? 加熱溫度偏差設(shè)定：設(shè)定源瓶恒溫后溫度波動(dòng)報(bào)警偏差值。

? 伴熱溫度偏差設(shè)定：設(shè)定伴熱帶恒溫后溫度波動(dòng)報(bào)警偏差值。

? 源瓶1～6加熱設(shè)定溫度：黑色框?yàn)樵O(shè)定恒溫溫度，紅色框?yàn)轱@示是否設(shè)定成功。

? 管道1～6伴熱設(shè)定溫度：黑色框?yàn)樵O(shè)定恒溫溫度，紅色框?yàn)轱@示是否設(shè)定成功。

? 統(tǒng)一第yi組設(shè)定：設(shè)定好第yi組源瓶溫度值（加熱與伴熱），然后點(diǎn)擊此按鍵，再點(diǎn)擊“寫(xiě)入并保存"（稍微按長(zhǎng)點(diǎn)）就可以統(tǒng)一設(shè)定1～6源瓶和伴熱帶恒溫溫度值。

? 源瓶泄壓設(shè)定：設(shè)定源瓶壓力泄壓值，當(dāng)瓶?jī)?nèi)壓力≥泄壓值自動(dòng)泄壓。

? 合格電導(dǎo)率設(shè)定：設(shè)定水質(zhì)檢測(cè)合格的電導(dǎo)率值，≤設(shè)定值為合格，方可往源瓶灌水。

? 換水超時(shí)時(shí)間設(shè)定：設(shè)定源瓶換水時(shí)間，超過(guò)換水時(shí)間會(huì)報(bào)警提示，應(yīng)檢查原因。

? 出現(xiàn)低液位繼續(xù)排水時(shí)間設(shè)定：源瓶排原水的過(guò)程中，以出現(xiàn)低液位為節(jié)點(diǎn)估算多久排完，以停止排水動(dòng)作。

? 源瓶換水周期設(shè)定：設(shè)定源瓶的換水周期時(shí)間；計(jì)時(shí)時(shí)間到：如此時(shí)爐管在工藝，則等工藝一結(jié)束就開(kāi)始自動(dòng)換水；如不在工藝狀態(tài)那就等下次工藝結(jié)束再自動(dòng)換水；每次換完水自動(dòng)重新計(jì)時(shí)。

? 源瓶1～6計(jì)時(shí)開(kāi)始：顯示源瓶1～6換水結(jié)束后的日期時(shí)間。

? 重新計(jì)時(shí)：按下重新計(jì)時(shí)。

? 寫(xiě)入并保存：寫(xiě)入并保存當(dāng)前的設(shè)定數(shù)值，需要稍微長(zhǎng)按。

? 返回首頁(yè)：點(diǎn)擊返回首頁(yè)。

3.4報(bào)警記錄

? 報(bào)警記錄：可以查看過(guò)去發(fā)生的報(bào)警事件，下方有記錄總條數(shù)。

? 表格控件：點(diǎn)擊可使表格內(nèi)容上下移動(dòng)和刷新記錄便于查看。

? 返回首頁(yè)：點(diǎn)擊返回首頁(yè)。

3.5 換水記錄

? 換水記錄：可以查看當(dāng)下或過(guò)去發(fā)生的換水事情動(dòng)作過(guò)程。

? 表格控件：點(diǎn)擊可使表格內(nèi)容上下移動(dòng)和刷新記錄便于查看。

? 返回首頁(yè)：點(diǎn)擊返回首頁(yè)。

四、設(shè)備操作

4.1 狀態(tài)指示

1、綠燈常亮：1～6源瓶開(kāi)關(guān)任何開(kāi)啟且設(shè)備無(wú)gu障報(bào)警；

2、黃燈閃亮：源瓶自動(dòng)換水時(shí)的灌水過(guò)程且無(wú)gu障報(bào)警；

3、黃燈常亮：源瓶自動(dòng)換水時(shí)的排水過(guò)程且無(wú)gu障報(bào)警；

4、紅燈常亮：設(shè)備停止?fàn)顟B(tài)且無(wú)gu障報(bào)警；

5、紅燈閃亮 + 蜂鳴器：故障報(bào)警狀態(tài)。

4.2 開(kāi)機(jī)操作

1、檢查電源配線、接線是否正確及電源電壓是否正常（第yi次上電）；

2、合上柜內(nèi)電源總空開(kāi)、排水泵開(kāi)關(guān)、控制回路開(kāi)關(guān)以及選擇各路源瓶開(kāi)關(guān) ；

3、合上柜子操作面板上的電源開(kāi)關(guān) ；

4、進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫(huà)面設(shè)置好各項(xiàng)參數(shù)（第yi次使用需要設(shè)置，參數(shù)具有斷電保持功能）；

5、水質(zhì)檢測(cè)合格后給源瓶灌水，灌到高液位停止，最終液位可以通過(guò)補(bǔ)水閥和排水閥來(lái)調(diào)整（第yi次建議手動(dòng)灌水，因?yàn)樽詣?dòng)灌水涉及到的條件多且邏輯復(fù)雜）；操作如下圖：

6、進(jìn)入控制界面選擇使用哪個(gè)源瓶（未使用顯示禁用圖標(biāo)，使用后禁用圖標(biāo)消失）；

7、源瓶使用后（即自動(dòng)運(yùn)行），會(huì)加熱與恒溫、有異常時(shí)會(huì)報(bào)警、后續(xù)會(huì)按設(shè)定的換水周期自動(dòng)換水；

8、緊急情況誒需要請(qǐng)按急停開(kāi)關(guān)（停止所有源瓶使用及控制輸出）。

4.3 手動(dòng)控制

1、每個(gè)閥門都可以通過(guò)點(diǎn)擊圖標(biāo)開(kāi)/關(guān)控制：提前條件是對(duì)應(yīng)的源瓶處于停止?fàn)顟B(tài)以及符合操作權(quán)限等級(jí)；

2、蜂鳴器、照明、蓄水池排水泵可以隨時(shí)點(diǎn)擊圖標(biāo)手動(dòng)操作。

4.4 停機(jī)操作

1、關(guān)閉各個(gè)源瓶開(kāi)關(guān)（顯示禁用圖標(biāo)） ；

2、斷開(kāi)柜子操作面板上的電源開(kāi)關(guān)（短時(shí)停機(jī)） ；

3、斷開(kāi)柜子操作面板上的電源開(kāi)關(guān)以及柜內(nèi)所有開(kāi)關(guān)（長(zhǎng)時(shí)停機(jī)）。

五、故障報(bào)警

提示：遇到無(wú)法解決的問(wèn)題時(shí)請(qǐng)聯(lián)系設(shè)備廠家！

六、 注意事項(xiàng)

6.1 設(shè)備操作

1、人員未經(jīng)培訓(xùn)，不得操作設(shè)備；

2、非專業(yè)人員，不得操作設(shè)備電氣部分；

3、上電開(kāi)機(jī)前應(yīng)該檢查設(shè)備是否具備條件（如在檢修中，不能操作）；

4、第yi次上電，先檢查電源接線、電壓是否正常，否則可能造成設(shè)備嚴(yán)重?fù)p壞；

5、除了可操作的部位，其它地方不可觸碰，避免觸電或其它危險(xiǎn)。

6.2 參數(shù)設(shè)定

1、參數(shù)具有斷電保存功能，無(wú)需每次開(kāi)機(jī)都要設(shè)置，除了需要修改；

2、參數(shù)設(shè)置要合理，不能過(guò)大或過(guò)?。蝗缭雌啃箟簤毫?，過(guò)大起不到保護(hù)作用會(huì)爆瓶，過(guò)小又不合理，會(huì)影響工藝。

6.3 水位調(diào)節(jié)

1、源瓶具有高低液位兩組探頭；

2、調(diào)節(jié)過(guò)程中，位置不能相反；

3、高低液位調(diào)節(jié)合理，否則可能會(huì)影響工藝。

6.4 開(kāi)門作業(yè)

1、柜內(nèi)有源瓶加熱系統(tǒng)溫度較高（或高于70℃）；

2、開(kāi)門作業(yè)時(shí)需要做好防護(hù)防止人體被高溫燙傷。

七、應(yīng)急處理

7.1 人體燙傷

1、車間里面應(yīng)該配有急求箱；

2、及時(shí)對(duì)燙傷部位進(jìn)行降溫消毒處理，然后上藥包扎好；

3、嚴(yán)重者應(yīng)該到醫(yī)院進(jìn)一步檢查和治療。

7.2 源瓶爆裂

1、停止工藝；

2、關(guān)閉該路電源開(kāi)關(guān)；

3、關(guān)閉源瓶開(kāi)關(guān)（停止自動(dòng)）；

4、做好防護(hù)，然后開(kāi)門更換源瓶；

5、換好源瓶重新灌水、加熱到恒溫；

6、檢查整體沒(méi)問(wèn)題后重新做工藝。

八、日常巡檢與檢修保養(yǎng)

8.1 日常巡檢

1、看：觀察設(shè)備整體是否有異樣（如漏水、冒煙等），特別是報(bào)j燈；

2、聽(tīng)：設(shè)備是否有異常聲音（如漏氣、水流等），特別是報(bào)警蜂鳴器；

3、如有異常故障，及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理。

8.2 檢修保養(yǎng)

1、設(shè)備正常使用時(shí)檢修周期為每年一次，檢修內(nèi)容包括柜內(nèi)主要部件、儀表的檢查、校準(zhǔn)、清潔、維修、更換等。