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微振動檢測激光干涉儀 ZLM900-3D


激光干涉儀ZLM 900-3D	PXI數(shù)據(jù)處理器激光干涉儀ZLM900-3D	光學(xué)鏡頭ZLM 900-3D

世界范圍內(nèi)，同類產(chǎn)品中效率zui高的干涉儀。

三軸外差式微振動檢測激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關(guān)系測量

高靈活性調(diào)整模塊，適用于所有數(shù)控機(jī)床的參數(shù)的測量

動態(tài)測量zui大速度4m/s，實(shí)時(shí)顯示三個軸的測量數(shù)據(jù)

小型反射鏡，帶有磁性固定裝置

適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線，與網(wǎng)絡(luò)兼容

位移測量標(biāo)準(zhǔn)分辨率為1nm，角度測量分辨率為0.01"

使用高精度溫度傳感器，系統(tǒng)精度可達(dá)50nm/m

可拓展為6軸測量

外部觸發(fā)zui大頻率為40MHz快速調(diào)整也適用于3D

所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測量，無延時(shí)

zui多可擴(kuò)展到6軸

小型反射鏡

外部zui大觸發(fā)頻率40MHz

JENAer測量技術(shù)公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測量數(shù)控機(jī)床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等，還能夠測量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量等。多軸干涉儀儀更可測量和檢測物體的微位移、擺動振動情況、工作臺的運(yùn)動情況等。更多信息垂詢！

上圖為一個具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng)，光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡，3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個部分：

信號光束1用于位移的測量，信號光束2用于俯仰角的測量，信號光束三用于偏擺角的測量。

所有的光束照射到被測物體（3-軸反射鏡固定在被測物體上）后再次反射到干涉鏡上，每個信號光束與反射的光束進(jìn)行干涉，然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里，進(jìn)行信號分析后進(jìn)入到軟件里。


三軸測量軟件（位移、偏擺和俯仰角）	三角關(guān)系的設(shè)定

測量結(jié)果的統(tǒng)計(jì)	在位置5開始測量

位移和角度的*測量	ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)