特點
好的控制技術,模糊控制,前饋控制,確保設備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性
節(jié)能技術,Hot-Gas,變頻技術等大幅降低了設備能耗
優(yōu)秀的密封和檢漏技術,很大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況
超低溫制冷技術,單/多級復疊技術,多層復合保溫技術
支持用戶多通道/多類型定制需求
成都中冷低溫科技有限公司
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更新時間:2026-03-16 10:39:23瀏覽次數:138次
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SEMI Chiller溫控器zonglen溫控器ZU35主要用于半導體(FAB)和FPD顯示制程中工藝設備的溫度準確控制,如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統(tǒng)組成的工藝過程中的溫控設備。
SEMI Chiller溫控器zonglen溫控器ZU35主要用于半導體(FAB)和FPD顯示制程中工藝設備的溫度準確控制,如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統(tǒng)組成的工藝過程中的溫控設備。
產品詳情
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好的控制技術,模糊控制,前饋控制,確保設備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性
節(jié)能技術,Hot-Gas,變頻技術等大幅降低了設備能耗
優(yōu)秀的密封和檢漏技術,很大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況
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