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行業(yè)產(chǎn)品

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大塚電子（蘇州）有限公司


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超高速分光涉式膜厚儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：廖海榮查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-10-15 07:29:48瀏覽次數(shù)：382次

聯(lián)系我時，請告知來自 制藥網(wǎng)

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：39條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：廖海榮 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝，超高速、實時、高精度測量晶圓和樹脂 產(chǎn)品詳細(xì)信息 特點 非接觸式，非破壞性厚度測量 反射光學(xué)系統(tǒng)（可從一側(cè)接觸測量） 高速（...

詳細(xì)介紹

以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝，超高速、實時、高精度測量晶圓和樹脂

產(chǎn)品詳細(xì)信息

特點

  • 非接觸式，非破壞性厚度測量

  • 反射光學(xué)系統(tǒng)（可從一側(cè)接觸測量）

  • 高速（5 kHz）實時評測

  • 高穩(wěn)定性（重復(fù)精度低于0.01％）

  • 耐粗糙度強

  • 可對應(yīng)任意距離

  • 支持多層結(jié)構(gòu)（最多5層）

  • 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)消除功能

  • 可進行距離（形狀）測量（使用配件嵌入式傳感器）*

*通過測量測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離

 toku.png

Point1：技術(shù)

對應(yīng)廣范圍的薄膜厚度并實現(xiàn)高波長分辨率。
采用大塚電子技術(shù)制成緊湊機身。
thickne.png

spectra.png

Point2：高速對應(yīng)

即使是移動物體也可利用準(zhǔn)確的間距測量，

是工廠生產(chǎn)線的理想選擇。

speed.png

Point3：各種表面條件的樣品都可對應(yīng)

從20微米的小斑點到

各種表面條件的樣品，都可進行厚度測量。

spot.png

Point4：各種環(huán)境都可對應(yīng)

因為最遠可以從200 mm的位置進行測量，

所以可根據(jù)目的和用途構(gòu)建測量環(huán)境。

condtion.png

測定項目

厚度測量（5層）

用途

各種厚膜的厚度

youto.png

式樣

型號 SF-3/200 SF-3/300 SF-3/1300 SF-3/BB
測量厚度范圍? 5～400 10～775 50～1300 5～775
樹脂厚度范圍? 10～1000 20～1500 100～2600 10～1500
最小取樣周期kHz（μsec） 5（200）※1 -
重復(fù)精度% 0.01%以下※2
測量點徑? 約φ20以上※3
測量距離mm 50.80.120※4.200※4
光源 半導(dǎo)體光源（クラス３Ｂ相當(dāng)）
解析方法 FFT解析，化法※5
interface LAN，I/O入輸出端子
電源 DC24V式樣（AC電源另行銷售）
尺寸mm 123×128×224 檢出器：320×200×300
     光源：260×70×300
　 　 　 　 　
選配 各種距離測量探頭，電源部（AC用），安全眼睛
     鋁參考樣品，測量光檢出目標(biāo)，光纖清理器

 ＊1 ： 測量條件以及解析條件不同，最小取樣周期也不同。
＊2 ： 是產(chǎn)品出貨基準(zhǔn)的保證值規(guī)格，是當(dāng)初基準(zhǔn)樣品AirGap約300μm和
         約1000μm測量時的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mm探頭式樣時的設(shè)計值
＊4 ： 特別式樣
＊5 ： 薄膜測量時使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300

基本構(gòu)成

 SF-3_2.png

測定例

 SF-3r-1.png

貼合晶圓

 SF-3r-2.png

 

Mapping結(jié)果
研削后300mm晶圓硅厚度

關(guān)鍵詞：傳感器
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