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上海山漢光電科技有限公司
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發(fā)布時(shí)間：2025-8-18
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MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，適用于大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)，保持檢測(cè)員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時(shí)，可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的整個(gè)工作流程。
我們來看看MX63和MX63L顯微鏡在大樣品上檢測(cè)的應(yīng)用吧
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和記錄結(jié)果提供了更多選擇。
MIX觀察技術(shù)通過將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振光等其他觀察方法相結(jié)合，生成的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)使用戶能夠查看使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在指定時(shí)間僅使用一個(gè)象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。
半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)
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集成電路圖形不夠清晰。 | 晶圓顏色不可見。 | 晶圓顏色和集成電路圖形均清晰可辨。 |
半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留
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樣品本身不可見。 | 殘留物不夠清晰。 | 集成電路圖形和殘留物均清晰可辨。 |
聚光鏡
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表面反光。 | 來自不同角度定向暗場(chǎng)的多幅圖像。 | 通過將無光暈的清晰圖像拼接在一起，合成一張清晰的樣品圖像。 |
使用多圖像拼接（MIA）功能時(shí)，用戶只需轉(zhuǎn)動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的KY旋鈕，即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動(dòng)載物臺(tái)無需進(jìn)行該操作。PRECiV軟件采用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。
硬幣的即時(shí)MIA圖像
PRECiV的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像，并將其合成一幅全聚焦圖像。EFI可配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸聚焦裝置使用，以生成高度圖像，輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)結(jié)構(gòu)的可視化觀察。在PRECiV Desktop離線時(shí)，也可以生成EFI圖像。
集成電路芯片上的凸塊
采用圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）可調(diào)整圖像內(nèi)的亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。
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部分區(qū)域存在眩光。 | 使用HDR可清晰呈現(xiàn)暗光區(qū)域和明亮區(qū)域。 | TFT陣列因彩色濾光片的亮度而漆黑一片。 | TFT陣列利用HDR獲得呈現(xiàn)。 |
測(cè)量對(duì)于質(zhì)量、工藝控制和檢測(cè)至關(guān)重要。鑒于這一點(diǎn)，即便是入門級(jí)PRECiV軟件包也融入了交互式測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外，PRECiV材料解決方案還為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面。只需單擊一下按鈕，即可快速精準(zhǔn)執(zhí)行圖像分析任務(wù)。由于大幅縮減了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間，操作員可以專注于手頭的檢測(cè)工作。
基本測(cè)量（印刷電路板上的圖形） |
分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面） |
自動(dòng)測(cè)量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)） |
> 了解有關(guān)PRECiV軟件的更多信息
與圖像采集和測(cè)量相比，創(chuàng)建報(bào)告通常需要花費(fèi)更長(zhǎng)的時(shí)間。PRECiV軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，可以根據(jù)預(yù)定義的模板多次生成智能、復(fù)雜的報(bào)告。編輯操作非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為Microsoft Word或PowerPoint文件。此外，PRECiV軟件的報(bào)告功能可對(duì)采集的圖像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，更便于通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。
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Mx63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，其配備的功能有助于大幅降低樣品污染或受損風(fēng)險(xiǎn)。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，即使長(zhǎng)時(shí)間使用也有助于保持用戶的舒適性。MX63系列符合國(guó)際規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)要求，包括SEMI S2/S8、CE和UL。
選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測(cè)，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。
MX63與AL120晶圓搬送機(jī)（200 mm版本）結(jié)合使用
* AL120未在歐洲、中東和非洲地區(qū)上市銷售。
MX63系列可實(shí)現(xiàn)無污染的晶圓檢測(cè)。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。
防靜電呼吸防護(hù)罩 |
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 |
利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對(duì)300 mm晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)高效的觀察。
可調(diào)傾角觀察筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。
帶有內(nèi)置離合的載物臺(tái)手柄 |
可調(diào)傾角觀察筒可確保舒適的工作姿態(tài) |
晶圓支架和玻璃板 | 該系統(tǒng)可與各種類型的150–200 mm和200–300 mm晶圓支架和玻璃板配合使用。如果生產(chǎn)線上晶圓的尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。借助MX63系列，可使用各種載物臺(tái)檢測(cè)75 mm、100 mm、125 mm |
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