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多晶硅清洗系統(tǒng)

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更新時間:2021-11-13 20:22:45瀏覽次數(shù):502

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產品簡介

產品介紹該設備是對多晶硅還原爐爐筒粘附在內壁的物料和污物,進行清洗和烘干,實現(xiàn)對爐筒的自動清洗和烘干

詳細介紹

產品介紹

該設備是對多晶硅還原爐爐筒粘附在內壁的物料和污物,進行清洗和烘干,實現(xiàn)對爐筒的自動清洗和烘干。設備整個清洗烘干過程自動化操作,一人完成;同時也可手動清洗;清洗后鐘罩內壁沒有結垢物及污物(可以用試制擦拭檢查,以看不到污物為準),并達到干燥要求;清洗和烘干時間根據(jù)需要可調。

主要優(yōu)點是:1.將多道工序組合在一起,縮短了工藝流程;2.系統(tǒng)投資省,運行費用低,經濟節(jié)能;3.整個系統(tǒng)控制采用手動和自動相結合,采用技術*,運行可靠,操作管理簡單的工藝,使*性和可靠性有機地結合起來,降低操作勞動強度。

工藝介紹

以加熱后的高壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成爐筒內部表面的水力掃射,用脫鹽水預清洗,用熱堿液(5%-10%*溶液)為主要清洗液,用純水漂(沖)洗,完成清洗過程。用經過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,加熱后(50-80°C)烘干加熱爐筒,再逐步降溫到常溫,通過連續(xù)干燥,完成干燥過程。

工藝流程:

爐筒吊入工位→回用水預清洗→熱堿液清洗→脫鹽水熱漂洗→熱空氣烘干→常溫干燥      →吊出工位

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