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東莞帕薩電子裝備有限公司

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商鋪產(chǎn)品：16條

所在地區(qū)：廣東東莞市

注冊時間：2021-11-12

最近登錄：2021-11-12

產(chǎn)品分類 品牌分類

科研非標(biāo)定制設(shè)備

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產(chǎn)品簡介

一、設(shè)備用途真空碳化臺運(yùn)用于磁控管陰極燈絲碳化工藝，是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，本設(shè)備為單腔室反應(yīng)碳化爐，在真空潔凈條件下，對磁控管陰極通電，通入活性氣氛C6H6(苯），利用陰極燈絲的發(fā)熱，使得苯與燈絲發(fā)生碳化反應(yīng)，達(dá)到燈絲碳化的目的

詳細(xì)介紹

一、設(shè)備用途
真空碳化臺運(yùn)用于磁控管陰極燈絲碳化工藝，是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，本設(shè)備為單腔室反應(yīng)碳化爐，在真空潔凈條件下，
對磁控管陰極通電，通入活性氣氛C6H6(苯），利用陰極燈絲的發(fā)熱，使得苯與燈絲發(fā)生碳化反應(yīng)，達(dá)到燈絲碳化的目的。

二、主要技術(shù)參數(shù)
1、產(chǎn)能：一次性碳化50個陰極的燈絲（也可定制）；
2、生產(chǎn)節(jié)拍：小于10Min每爐；
3、工藝腔體尺寸與結(jié)構(gòu)：Φ500mm *400mm （支持定制）
4、極限真空：優(yōu)于6.67*10^-4Pa
5、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤6.67x10^-⁸ Pa.l/S；
6、燈絲碳化率：10%-35%

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