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產(chǎn)品簡介

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础Ｖ饕獏?shù)：CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

v 雙等離子清洗源

v 一機(jī)多用

v 高效低損傷

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào)，自動(dòng)匹配器
氣體控制	標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測量自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源
真空控制	美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面
電源/功率	220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器，氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護(hù)

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掃描電鏡等離子清洗機(jī)

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