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詳細(xì)介紹
概述
使用嶄新的技術(shù)，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測量軟件，可程式化的光學(xué)變焦，3X的數(shù)碼變焦，非線性平臺補(bǔ)償，非線性光學(xué)補(bǔ)償，*的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟件功能*：使用鼠標(biāo)就能輕松編寫程序，專有的系統(tǒng)尋邊功能，*的光源控制及校正功能，與復(fù)合傳感器結(jié)合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
規(guī)格表
| 型號 | 測量行程(mm) | XY軸精度(μm) | Z軸精度(μm) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 1051UM/UC | 1050x1050x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x1608 |
| Excel 1052UM/UC | 1050x1050x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x1788 |
| Excel 1054UM/UC | 1050x1050x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x2088 |
| Excel 1601UM/UC | 1050x1650x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x1608 |
| Excel 1602UM/UC | 1050x1650x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x1788 |
| Excel 1604UM/UC | 1050x1650x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x2088 |
| Excel 1651UM/UC | 1250x1650x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x1608 |
| Excel 1652UM/UC | 1250x1650x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x1788 |
| Excel 1654UM/UC | 1250x1650x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x2088 |
| Excel 200UM/UC | 1250x2000x200 | 5.0+L/200 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1905x3084x1753 |
| Excel 250UM/UC | 1600x2500x200 | 5.0+L/200 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 2260x3810x1753 |
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