傳感器單元SW1-N1/SW1-N2
本真空計(jì)屬皮拉尼真空計(jì)，可測量的壓力范圍從大氣壓至5×10^-2Pa。
本真空計(jì)從控制面板上去除了操作及顯示部分，只保留了必要的功能，從而降低了價(jià)格，使外形更小巧。

典型用途

·　可用于半導(dǎo)體、電子原件為首的各種制造裝置的低真空領(lǐng)域的過程管理；
·　可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機(jī)器的低真空領(lǐng)域的過程管理；
·　可用于連續(xù)性、多樣性工作室的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的過程管理。

特 點(diǎn)

可測量范圍廣：從大氣壓至5×10-2Pa
傳感器與控制部一體化：節(jié)省空間、降低能耗