益處

• HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復雜性
• 高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10^-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進而改善過程控制
• 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10^-2 至 1 毫巴之間啟動
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲，防止過早燒毀
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
• 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預
• RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

• 半導體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
  
  
  

  規(guī)格

  類型			HPG400
  測量范圍（空氣，N2）		2×10-6 … 1000
  精度
  10-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 (1)
  可重復性
  10-5 … 10-1 毫巴	% of reading	2
  10-1 … 100 毫巴	% of reading	30
  熱離子發(fā)射，可選：
  選購件 1	mbar	1
  選購件 2	mbar	5×10-1
  選購件 3	mbar	2×10-1
  選購件 4	mbar	1×10-1
  選購件 5	mbar	5×10-2
  壓力，更大	bar (absolute)	2
  溫度
  運行（環(huán)境）	°C	0 … +50
  貯存	°C	-20 … +70
  在法蘭處烘烤	°C	80
  移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
  電源電壓		20 … 28
  輸出信號模擬
  輸出信號	V	0 … +10.2
  測量范圍熱陰極	V	1.5 … 7.5
  測量范圍皮拉尼	V	8.5 … 9.75
  電壓比壓強熱陰極	volts per decade	1
  電壓與壓強皮拉尼	volts per decade	0.25
  錯誤信號熱陰極	V	0.3
  錯誤信號皮拉尼	V	0.5
  更小負載電阻	kΩ	10
  接口（數(shù)字）(2)		RS232C
  電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
  電纜長度，更大 (3)	m (ft.)	100 (330)
  暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
  內(nèi)部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	20 (1.2) / 30 (1.8)
  重量 KF / CF	g	430 / 695
  保護等級		IP30
  DeviceNet™
  協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
  數(shù)據(jù)率開關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
  電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
  電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
  電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
  MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
  網(wǎng)絡(luò)規(guī)模		up to 64 nodes per segment
  數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
  模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
  可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
  技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
  設(shè)備類型		''CG'' for combination gauge
  I / O 從屬傳訊		polling only
  設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量		2
  設(shè)定點繼電器： 范圍	mbar	2×10-6 … 100
  設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點		n.o., potential free
  設(shè)定點繼電器： 滯后	% of reading	10
  設(shè)定點繼電器： 觸點額定值		60
  DeviceNet™ 電源電壓		11 … 25
  真空計電源電壓	V (dc)	20 … 28
  DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
  HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
  Profibus DP
  波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
  地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
  數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
  模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
  設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量		2
  設(shè)定點繼電器： 范圍	mbar	2×10-6 … 100
  設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點		n.o., potential free
  設(shè)定點繼電器： 滯后	% of reading	10
  設(shè)定點繼電器： 觸點額定值		60
  Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
  HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male

  (1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值

  (2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現(xiàn)場總線

  (3) 適用于 RS232C 運行 <30m