低溫真空泵

  低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機作為冷源，通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設(shè)備，

低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：

   1）半導體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程；

   2）光學鏡片鍍膜；

   3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線；

   4）空間環(huán)境模擬；

   5）真空排氣臺等。

低溫真空泵主要特點：

   1）低溫真空泵是吸附式真空泵，工作時無需前級泵；

   2）低溫真空泵需要再生；

   3）低溫真空泵對不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。

低溫真空泵的主要優(yōu)點：

    1）高極限真空度。基本型可達10^-6Pa真空度，特殊要求時可達10^-7Pa以上；

    2）大抽速。對空氣尤其是對水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比擬；

    3）真正潔凈。

    4）運行成本低

    5）安全可靠

    6）使用方便

    7）使用壽命長