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詳細介紹
型號項目 | ZZD-1000 | ZZD-1400 | ZZD-1600 | ZZD-2050 |
| 真空室規(guī)格 mm | Φ1000×1500 | Φ1400×1900 | Φ1600×2100 | Φ2050×2900 |
| 極限壓力 Pa | 1×10-3 | |||
| 工作壓力 Pa | 2×10-2 | |||
| 恢復真空時間 min | ≤10 （從大氣至2×10-2Pa） | |||
| 壓升率 Pa/h | ≤0.3 | |||
| 離子轟擊源 KVA | 4 | 4 | 12 | 20 |
| 蒸發(fā)源Ⅰ KVA | 15 | 20 | 25 | 40 |
| 蒸發(fā)源Ⅱ KVA | 15 | 20 | 27/18 | 45 |
| 蒸鍍材料 | Al和SiO2/MgO2 | |||
| 工件轉動方式 | 公轉加自轉（無級調速） | |||
| 工件自轉軸數 | 6 | 10 | ||
| 控制方式 | PLC | PLC/PLC+計算機 | ||
| 冷卻水量 m3/h | 5 | 5 | 7 | 9 |
| 總功率 KW | ～60 | ～85 | ～120 | ～200 |
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