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詳細(xì)介紹
型號項(xiàng)目 | JPC-800L | JPC-1200 | JPC-2000 |
| 極限真空度 Pa | 5.0×10-4 （清潔、干燥、空載） | ||
| 恢復(fù)真空時(shí)間 Pa | 18（從大氣～10-2Pa） | ||
| 基材 | PET、PVC、PE等 | ||
| 有效鍍幅 mm | 800 | 1200 | 2000 |
| 卷徑 mm | Φ350～Φ600 | ||
| 鍍膜速度 m/min | 0.5～10 | ||
| 磁控靶數(shù)目 只 | 3～5 | ||
| 靶材 | ITO、鋁、銅、鎳、鈦、二氧化硅等 | ||
| 濺射壓力 Pa | 1～0.1 | ||
| 濺射電壓 V | 300～600（D.C或MF） | ||
| 工作氣體 | Ar、 O2純度99.99% | ||
| 氣體流量控制方式 | 質(zhì)量流量控制器 | ||
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