20世紀(jì)60年代早期，隨著電子探針的發(fā)展，開始使用特征X射線輻射分析礦物標(biāo)本。這項工作的一個附屬產(chǎn)品是陰極發(fā)光觀測，并迅速成為一個非常重要的獨立研究領(lǐng)域，從而促使電子束源向更簡單、顯微鏡式發(fā)展，使用冷陰極管作為該電子束源。
    冷陰極基礎(chǔ)上的陰極發(fā)光儀是能譜分析系統(tǒng)的基礎(chǔ)，正如RELION Ⅲ CL,該類型的電子槍用于陰極發(fā)光顯微鏡的附加裝置（ C信  噪  比: 8200:1
Be窗 厚度： 12.5um、25μm（可選）
具有以下主要特點：
1：價格實惠。
2: 操作的高速性。
3：操作和維護方便和簡易。
4：采樣準(zhǔn)備工作簡捷方便。
5：能夠保持良好的光學(xué)顯微鏡的各項能力。
6：對于采樣的顯微照相處理能夠方便實現(xiàn)。
7：具備普通透射光（TRL）, 偏振光（POL）, 陰極發(fā)光（CL）以及EDS的聯(lián)合觀測能力。