特點
大口徑(Φ215mm)石英反應腔。
小型一體化設(shè)計。
操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)。
詳細介紹
| 型號 | PR500 |
| 模式 | DP模式,桶型 |
| 高頻輸出功率 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 回調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) |
| 反應腔 | 石英①215 x305mm |
| 反應氣體 | 2系統(tǒng)(O2/CF4) |
| 控制 | 手動 |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 |
| 外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm |
| 重量 | 約60KG |
| 電源 | 單相AC100V9A |
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