詳細介紹
操作規(guī)格 氣體:
大多數(shù)氣體;檢查與儀表材料的兼容性;訂貨時具體指出。
質(zhì)量流量:
0~10sccm 到 0~50slpm;的流量范圍是 76 厘米 汞柱、21oC(70oF)下的氮氣對應流量范圍;用其他單位表示的流
量范圍也可提供( 即 : scfh 或 nm3/hr)。
氣體壓力:
150psig(10barg);20psig(1.4barg)。
氣體&環(huán)境溫度:
32oF 到 122oF(0oC 到 50oC)。
防滲漏功能:
為 1×10-4 atm cc/sec(氦氣)。
性能規(guī)格
精度:
±1.5 滿度,在 15oC~25℃及 5 到 60psia(0.3 到 4bara)范圍內(nèi)。 如果流量計是通過垂直流量通路安裝的,
則準確度為下所示:
操作壓力
入口壓力差 50psig 100psig 150psig
±1psig ±1.5%滿度 ±1.5%滿度 ±1.5%滿度
±5psig ±3.8%滿度 ±4.5%滿度 ±5.3%滿度
±10psig ±6%滿度 ±7.5%滿度 ±9%滿度
重復性:
±0.5%滿度。
溫度系數(shù):
0.08%滿度每 oF(0.15%滿度每 oC),或更好。
壓力系數(shù):
0.01%滿度每 psi(0.15 滿度每 bar),或更好。
響應時間:
時間常數(shù) 800 毫秒;6 秒到最終值的±2%以內(nèi)(滿 度的 25%到 )。
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