測量參數(shù)

Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr（c）、tp、Rmr、Rpm、

Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、R△q、R△a、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2

Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr（c）、Pmr、Pz1max、PzJIS、

Pδc、P△q

傳感器

檢測原理

電感式

測量范圍

400μm

針尖半徑

5μm

針尖材料

金剛石

觸針測力

4mN

觸針角度

90°

導(dǎo)頭縱向半徑

45mm

*大驅(qū)動行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

±25μm

0.001μm

±200μm

0.008μm

波方式

2RC、GAUSS

取樣長度

0.08mm，0.25mm，0.8mm，2.5mm

評定長度

1L ~ 5L（可選，L為取樣長度）

示值誤差

±10%

示值重復(fù)性

≤6%

工作環(huán)境

溫度：0℃ ~ 40℃

濕度：＜90% RH

外形尺寸及重量

主機：155.4mm×75mm×53mm，約580g

驅(qū)動器：Ф26mm×132.5mm，約179g

電源

內(nèi)置電池：鋰離子充電電池

電源適配器：輸入：100V ~ 240VAC，50/60Hz

輸出：9V，3A

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機、傳感器、驅(qū)動器、充電器、樣塊、前后護(hù)套、探桿（4根）