型號

6910230 - MarSurf PS10 2 µm

6910232 - MarSurf PS10 5 µm

測量原則

探針法

輸入

感應(yīng)式滑動測頭

測量單元

公制/英寸

測量范圍 mm

350 µm、180 µm、90 µm（自動切換）

輪廓分辨率

32 nm、16 nm、8 nm（自動切換）

過濾器符合 ISO/JIS 標(biāo)準(zhǔn)

相位校正輪廓過濾器，符合 DIN EN ISO 11562 標(biāo)準(zhǔn)；專用過濾器，符合 DIN EN ISO 13565-1 標(biāo)準(zhǔn)；ls 過濾器，符合 DIN EN ISO 3274 標(biāo)準(zhǔn)（可脫離）

短行程符合 ISO/JIS

可選

掃描長度符合 ISO 12085 (MOTIF)

1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm

根據(jù) ISO/JIS 評估長度

1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm

采樣長度數(shù)量符合 ISO/JIS

可選：1 至 5

探針

2 µm / 5 µm

測量力 (N)

約..0.7 mN

校準(zhǔn)功能

動態(tài)

儲量

*多 15 個(gè)輪廓，*多 20000 個(gè)結(jié)果

其他

鎖定/密碼保護(hù)，日期/時(shí)間

防護(hù)系統(tǒng)

IP 40

可充電電池

鋰離子電池

寬范圍電源

100 至 264 V

尺寸 (mm)

160 mm x 77 mm x 50 mm