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詳細(xì)介紹
?Tru-Flo 質(zhì)量流量檢測(cè)器是一個(gè)緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下，測(cè)量上升的壓力來(lái)確定流量。
?HA-MFV 高精度質(zhì)量流量校驗(yàn)器是為在工藝設(shè)備上校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器而設(shè)計(jì)的。其精度可達(dá)讀值的1%，并可以校驗(yàn)真實(shí)的工藝氣體。HA-MFV的精度有非常顯著地提高。HA-MFV對(duì)其延伸部分體積（從MFC到HA-MFV）及其變化都不敏感
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