詳細(xì)介紹
BJJ-16型離子濺射儀外觀亮麗做工精致,旋鈕式定時(shí)器檔位清晰,手感舒適;特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣,具有歐洲典雅風(fēng)范;前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體;調(diào)節(jié)濺射電流大小,成膜速度快,質(zhì)量好;功能控制和定時(shí)皆由 CPU 調(diào)度,使用范圍廣。
離子濺射儀:配有噴金附件(金靶純度達(dá)到99.99%以上);
樣品倉大小: 直徑 120mm±10%,高度 120mm±10%;
靶材尺寸: 金靶直徑 57mm,厚度 0.1mm;
樣品座: 可容納 12個(gè)樣品,高度 50mm 內(nèi)可調(diào);
濺射控制: 數(shù)字化程序控制,高安全性,電流可調(diào), 40mA;
濺射靶頭: 低電壓平面磁電管控制,可以快速更換靶材;
儀表顯示:真空度 0.001mb,電流 0-50mA;
膜厚控制器: 用戶可自行定制鍍膜厚度:0.0-999.9nm;分辨率:0.1nm; 密度范圍:0.50-30.00gm/cm-3;
機(jī)械泵: 二級(jí)直接驅(qū)動(dòng)型高速機(jī)械泵,真空抽至0.1mb 所需時(shí)間為 25-30 秒。
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