一、儀器的功能及用途

能夠在大氣環(huán)境下準確地測量樣品表面臺階變化；使用金剛石（鉆石）探針接觸直動式測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

二: 儀器的配置及主要技術(shù)指標

1. 標準配置

1）接觸直動式臺階儀主體

2）放大器

3）電腦以及相應中文版測量軟件

4）打印設(shè)備

5）金剛石觸針

6）CCD以及觀測裝置

2．主要性能指標

一、測定工件

v 1.工件尺寸：φ160mm

2.工件厚度：50mm

3.工件重量：2Kg

二、檢出器

1.Z方向測定范圍：Max.600μm

2.Z方向分辨率：0.1nm

3.測定力：1mg ~ 50mg

4.探針半徑：2μm

v 5.檢測驅(qū)動方式：直動式

v 6.再現(xiàn)性：0.2nm（1μm臺階儀下）

三、X軸

v 1.移動量（測長）：100mm

v 2.移動真值度：0.2μm/100mm

3.移動、測定速度：0.005 ~ 20mm/s

v 4.線性尺（linarscale）：分解能0.1μm

四、Z軸

1.移動量：50mm

2.移動速度：max.2mm/S

3.檢出器自動停止機能

4.位置決定分解能：0.1μm

v 5.線性度：±0.25%

五、工件臺

1.工件臺尺寸：φ160mm

2.機械手動傾斜：± 2℃(±５mm/160mm ）

六、工件觀察：max.110倍（可選其他高倍率CCD）

v 七、床臺：花崗巖石材質(zhì)（120KG機臺，低重心）

八、電源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

九、機臺外觀尺寸及重量：W494×D440×H630mm,120kg