5KW自動匹配器

由國內外提供技術，國內生產的GMPOWER品牌射頻自動匹配器，廣泛適用于等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能制造設備PECVD制造中，具有功率覆蓋范圍大（50W-5KW）、匹配時間短（≤3秒）、指示功能全、操作簡單等優(yōu)勢，可通過數(shù)字接口實施計算機數(shù)據(jù)采集和控制，輕松實現(xiàn)時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。該匹配器與電源*獨立，可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源，限度節(jié)約射頻系統(tǒng)成本.

產品描述

*功率： 20W-5KW 頻率：13.56MHz

*系統(tǒng)采用高速配算法，即使系統(tǒng)處于高Q值也可在接近匹配點時減速，達到精確匹配效果

*標準配置采用可調的L型匹配網絡，滿足絕大部分負載要求，也可根據(jù)客戶負載陰抗設計配置匹配網絡，實現(xiàn)自動匹配

*配套公司標準電源可方便面板操作,手動/自動,預置位置,顯示電容位置等