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SQM/-160 薄膜沉積監(jiān)控器

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  • 型號 SQM/-160
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時間：2021-08-01 12:50:46瀏覽次數(shù)：610

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產(chǎn)品簡介

...

詳細(xì)介紹

功能

  • 兩個標(biāo)準(zhǔn)測量通道，另外四個可選
  • 模擬輸出便于記錄速率/厚度
  • 高精度選項：0.03Hz，每秒 10 個讀數(shù)
  • RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口，可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)

規(guī)格

類型SQM-160 Standard Resolution
QCM 傳感器輸入
Standard: 2; optional: 4
頻率分辨率
Standard: ± 0.12 Hz at 4 readings/sec
頻率穩(wěn)定性
± 2 ppm total, over 0º to 50ºC
可選測量周期
0.10 to 2 sec (in .05 sec increments)
測量過濾器
1 to 20 readings
存儲薄膜
99
模擬輸出
Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
數(shù)字輸入/輸出
Two inputs, four relay outputs
數(shù)字接口

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet
功率
100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 合規(guī)性

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD
殼體/安裝

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量
2.7 Kg (6 lbs)
Windows 軟件（集成）

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

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