類別

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

滿量程范圍

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

響應(yīng)時(shí)間

到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒

到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒

精度

滿量程±1%范圍內(nèi)

滿量程±2%范圍內(nèi)

線性度

滿量程±0.5%范圍內(nèi)

滿量程±0.5%范圍內(nèi)

滿量程±1%范圍內(nèi)

滿量程±1%范圍內(nèi)

重復(fù)精度

滿量程±0.2%范圍內(nèi)

漏率

值1×10^-6 atm-cc/秒(氦)

控制范圍

滿量程的5到

壓差

7至40 psi

10至40 psi(517至2069托)

21至40 psi(1086至2069托)

(362至2069托)

14至40 psi(724至2069托)

正常工作壓力

50 psi(2586托)

入口壓力

值150 psi(7740托)

溫度范圍

5至45℃