美國安斯超科學(xué)公司(Angstrom Sciences，Inc)成立于1988年,，是一家

專業(yè)從事物理氣相沉積磁控濺射陰極及濺射靶材的高科技專業(yè)公司，

的磁場設(shè)計和*的水冷技術(shù)使其產(chǎn)品倍受歡迎。安斯超公司對磁控濺射

靶陰極的磁體外形和冷卻循環(huán)結(jié)構(gòu)進行了科學(xué)合理地優(yōu)化設(shè)計，并且選取

更強的磁體（比稀土磁體強30％），從而使安斯超的靶陰極比常規(guī)的靶陰

有更為的性能。

核心技術(shù)及特點：

湍流冷卻技術(shù)，使得水流能夠更平緩的進入陰極，從而提高冷卻效果

*的磁體材料 NdFeB，他的強度比其他的稀土磁體要強30%

的產(chǎn)品均勻性，可以達到±3% 

直接水冷結(jié)構(gòu)可以提高其功率密度達到250Watt s/in2