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詳細介紹
● 壓力測量范圍在10ˉ5Torr 到大氣壓，大于普通的皮拉尼真空計2個測量等級
● 3個用于工藝控制的中繼點(選擇性)
● 超精致的設計
● 為工藝控制提供高的測量精度
● 模擬的輸出和數字通訊(RS232或RS485)提供了簡便的操作
● 可以抵御大氣沖擊和振動
● 可以方便地安裝于任何方向，沒有任何測量精度的損失
● 可以替代任何供應商的真空計和設施的升級
● 符合歐洲CE，EMC標志
MKS925真空計可以使用于半導體工業(yè)的分析和鍍膜工藝上的測量。
● 一般的真空壓力測量
● 前極管路和低真空的測量
● 氣體的充填測量和控制
● 質譜儀器的控制
● 超高真空計的啟動
● 工藝系統(tǒng)的控制
● 控制系統(tǒng)的壓力
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