3D光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x，采的光譜共焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面微米、次微米級(jí)粗糙度檢測(cè)，并且可以進(jìn)行2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析，具有測(cè)量精度高，速度快，便于攜帶，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器可用于測(cè)量大尺寸樣品，軟件功能含括了點(diǎn)測(cè)量、線測(cè)量、面測(cè)量以及編程等*的功能，可選模塊包括2D&3D粗糙度檢測(cè)與分析、2D輪廓測(cè)量與3D形貌分析、平面度檢測(cè)、共面度檢測(cè)、平行度檢測(cè)。

3D光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x基本信息

型號(hào)		MS150	MS400	MS1400	MS4000
測(cè)量范圍(mm)	X	150(可選250)
	Y	150(可選250)
	Z	0.15	0.4	1.4	4
分辨率(μm)	X	0.05
	Y	0.05
	Z	0.007	0.017	0.05	0.11
移動(dòng)速度(mm/s)	X	1000
	Y	1000
掃描速度(mm/s)	X	100
	Y	100
高度方向精度(μm)		0.025	0.055	0.12	0.25
最小可測(cè)粗糙度Ra(μm)		0.012	0.03	0.09	0.17
載荷(kg)		25
機(jī)器重量(kg)		350
機(jī)器外觀尺寸（mm)	長(zhǎng)	750
	寬	800
	高	1400
電源		AC 220V
功率		300W
工作溫度		5℃-40℃
相對(duì)濕度		5%-80% HR 無冷凝

功能與特性

      · 測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精度高；測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、半透明、金屬材料、高漫反射、低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
      · 尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面，漫反射表面可達(dá)87度；
      · 不受樣品反射率的影響；
      · 不受環(huán)境光的影響；
      · 測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無需特殊處理；