旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)

旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997)

徑向

(0.02+3.5H/10000)μmH: 為測(cè)量高度 (mm)

軸向

(0.02+3.5X/10000)μmX: 到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)軸的距離 (mm)

旋轉(zhuǎn)速度

2, 4, 6, 10 rpm

工作臺(tái)有效直徑

Φ235mm

Φ200mm

Φ235mm

Φ200mm

調(diào)心/ 調(diào)水平

A.A.T

D.A.T

A.A.T

D.A.T

調(diào)心范圍

±3mm

±5mm

±3mm

±5mm

調(diào)水平范圍

±1°

臺(tái)面承重

小于30kg

測(cè)量直徑

小于Φ300mm

工件直徑

小于Φ580mm

垂直移動(dòng)(Z軸立柱)

移動(dòng)直線度 (λc2.5)

0.10μm/100mm

0.10μm/100mm

0.15μm/300mm

0.25μm/500mm

與轉(zhuǎn)臺(tái)軸平行度(母線要素基準(zhǔn))

0.7μm/30a0mm

1.2μm/500mm

定位速度

小于5.0mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5,1.0, 2.0,mm/s)

檢測(cè)高度

測(cè)量外徑時(shí)

300mm

500mm

測(cè)量?jī)?nèi)徑時(shí)

300mm

500mm

檢測(cè)深度 (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)桿時(shí))

Φ32×85mm (深度),Φ7×50mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

0.7μm/150mm

與轉(zhuǎn)臺(tái)軸垂直度 (母線要素基準(zhǔn))

1.0μm/150mm

移動(dòng)范圍

175mm (–25mm - +150mm 轉(zhuǎn)臺(tái)中心)

移動(dòng)速度

小于30mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

檢出器

測(cè)力

約 10 - 50mN, 1 - 5 級(jí)

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)桿, 材質(zhì)

Φ1.6mm 硬質(zhì)合金

范圍

標(biāo)準(zhǔn)

±400μm/±40μm/±4μm

跟蹤

±5mm

其他

帶IN/OUT切換功能、測(cè)力切換功能(5級(jí)切換)、測(cè)頭角度指示

(±45°),Z軸方向沖擊探測(cè)功能、帶滑動(dòng)式檢出器(3姿勢(shì)規(guī)格)

其他

電源

100-240VAC

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量 (標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))

30L/min 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (80L/min 以上氣源)

本體重量

180kg

200kg