測量范圍

X軸

100mm

Z1軸 (檢出器)

50mm

上下移動量 (Z軸立柱)

350mm

—

X軸傾角范圍

±45°

分辨力

X軸

0.1μm

Z1軸

0.1μm

驅(qū)動方式

X軸

電動 (0 - 20mm/s)

上下移動 (Z軸立柱)

手動 (快速上下動、微動)

—

測量速度

0.02~5mm/s

直線精度 (X軸水平位置時)

2.5μm/100mm

指示精度

X軸

± (2.5+0.02L) μm L：測量長度 (mm)

(20°C)

Z1軸

±(2.5+|0.1H|)μmH=為水平位置上的測量高度±25mm以內(nèi)

測量方向

向前/向后

測量面方向

向下

測力

30±10mN (3gf)

測針跟蹤角度(以標(biāo)準(zhǔn)配件測針為例)

根據(jù)表面粗糙度而定

尺寸 (幅度×深度×高度)

745×450×885mm

651×143×138.5mm

重量