制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
詳細(xì)信息
指標(biāo) | 項目 | X軸 | Y軸 | Z軸 | R軸 |
電機類型 | 直線電機 | 直線電機 | 伺服電機 | DD馬達(dá) |
有效行程 | 350mm | 320mm | 40mm | 380deg |
適用晶圓尺寸 | Θ4-12in |
|
|
|
光柵分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.1um | 0.3sec |
重復(fù)定位精度 | ≤±150nm | ≤±150nm | ≤±500nm | ±1sec |
速度 | 1000mm/s | 1000mm/s | 300mm/s | 4rps |
加速度 | 3G | 2G | - | - |
負(fù)載 | 25kg | - | - | 30kg |
制藥網(wǎng)
内乡县|
广水市|
望城县|
榆林市|
晋城|
宁德市|
吉安县|
夏津县|
应城市|
东宁县|
兴安盟|
青冈县|
台中市|
墨江|
九台市|
隆德县|
玉门市|
墨竹工卡县|
当阳市|
勃利县|
亚东县|
漠河县|
得荣县|
黄浦区|
乐至县|
虎林市|
双牌县|
松溪县|
和硕县|
民权县|
宝兴县|
凤山市|
临桂县|
霍州市|
无为县|
綦江县|
子洲县|
乌苏市|
顺义区|
岑巩县|
班玛县|