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優(yōu)點：

1、擴展樣品空間

兩種手動和一種電動機柱可供選擇，充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動距離和254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。無論是檢測較重的樣品，或與 LSM 700 激光掃描顯微鏡組合使用 –結(jié)實的機柱使其具有穩(wěn)定性高和無震動的特點。選擇適用于反射光與透射光的各種載物臺及樣品夾，讓您的應(yīng)用擴展無極限。

2、認(rèn)證的超凈室組件

晶圓和光掩模檢測對潔凈度要求均十分嚴(yán)格。、Axio Imager Vario 已通過 DIN ENISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，其超凈室組件能滿足超凈室等級 5 的要求。多種附件可選，如配有顆粒保護罩和防噴嚏保護罩的 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤， 能有效保證樣品持續(xù)潔凈，充分發(fā)揮機器性能。

3、隨時實現(xiàn)精準(zhǔn)自動聚焦

集成有 Auto Focus 快速自動聚焦硬件系統(tǒng)的Axio Imager Vario 可用于高射、低對比度樣品的表面檢測。聚焦系統(tǒng)能夠保證聚焦精度達到所使用物鏡景深的 0.3 倍，且適用于反射光與透射光應(yīng)用。當(dāng)傳感器檢測到聚焦位置發(fā)生微小變化時，系統(tǒng)快速自動補償偏差。即便是大尺寸樣品，在 XY 方向上也能實現(xiàn)精準(zhǔn)聚焦。

應(yīng)用領(lǐng)域
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ZEISS Axio Imager Vario 與 ZEISS LSM 700組合使用

Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合使用開啟應(yīng)用新境界。尤其針對需要高分辨率解析、無接觸式分析的樣品。光學(xué)分辨率可達 120 nm 線寬左右。使用 LSM 700 能夠精確的檢測與定位納米級的表面缺陷。兩者組合使用則可以對激光絕緣刻槽（激光刻蝕）及薄膜太陽電池表面進行形貌檢測，從而更精確地測定激光刻槽和表面粗糙度。另一個典型應(yīng)用是檢測晶體硅太陽電池銀漿的表面形貌，并依據(jù)檢測結(jié)果來評估絲網(wǎng)印刷的質(zhì)量