反射膜厚儀/測(cè)厚儀/F50系列 

自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量成像

Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤(pán)，樣品直徑標(biāo)配200mm，可達(dá)450mm。(穩(wěn)定的樣品臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬(wàn)次的量測(cè)!)

測(cè)繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法，并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。

不同的F50型號(hào)儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的F50是的產(chǎn)品。一般較短的波長(zhǎng)(如F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可測(cè)樣品膜層：
基本上所有光滑的，非金屬的薄膜都可以測(cè)量。

可測(cè)樣品包括：
氧化硅 氮化硅 類(lèi)金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅 硅 

額外的好處：

· 每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù), 隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種

·  應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）

· 網(wǎng)上的 “手把手" 支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))

·  硬件升級(jí)計(jì)劃