探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應力的測量。 D-600配置200毫米自動移動樣品臺與*的Keystone矯正的輔助光學系統(tǒng)

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應力的測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

臺階高度：幾納米至1200μm

低觸力：0.03至15mg

視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

緊湊尺寸：占地面積小

軟件：用戶友好的軟件界面

主要應用

臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

紋理：2D粗糙度和波紋度

形式：2D翹曲和形狀

應力：2D薄膜應力

工業(yè)應用

大學，研究實驗室和研究所

半導體和復合半導體

SIMS：二次離子質(zhì)譜

LED：發(fā)光二極管

太陽能

MEMS：微電子機械系統(tǒng)

汽車

醫(yī)療設備

更多應用：請與我們聯(lián)系并探討您的需求

規(guī)格參數(shù)

掃描探針壓力: 0.03-15mg

垂直分辨率: 0.38 ?

Z測量重復精度: 5.0 ? 或 0.1%

垂直測量范圍: 1200um

具有雙向掃描測量的功能,方便定位和掃描

采樣點數(shù)120,000

掃描長度：55 mm/200mm(stitching);

掃描速度0.01-0.4mm/s

*的系統(tǒng)內(nèi)置避震設計

30多種分析參數(shù)

XY方向150mmX178mm自動樣品運動臺

樣品臺尺寸200mm直徑，360度旋轉(zhuǎn),可調(diào)傾斜角度+/-2度

500萬像素彩色攝像頭 配備Keystone視頻校正