用途：適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測(cè)試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢查觀察.也適用于經(jīng)過磨拋、化學(xué)處理的工件表面的金相組織結(jié)構(gòu)，幾何形狀進(jìn)行顯微觀測(cè)。并且有三維的測(cè)量功能，其解析率達(dá)0.0005mm。適用于集成電路，半導(dǎo)體芯片，光伏電池，光學(xué)材料等行業(yè)。

1. 鏡筒：鉸鏈?zhǔn)饺款^部

2. 高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡: WF10X/22mm

3. 平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡：

4. 落射式照明系統(tǒng)： 高亮度LED燈

5. 調(diào)焦結(jié)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 帶鎖緊和限位裝置，

粗動(dòng)升降范圍30mm，微動(dòng)格值，0.001mm*100格，。

6. 透射光源：LED光源，1W，亮度可調(diào)A
7. Z軸升降范圍：38mm以內(nèi)，手輪轉(zhuǎn)動(dòng)130mm，允許工件 130mm，數(shù)顯解析值 0.0005mm 導(dǎo)軌精度(3+L/1000)um

X軸移動(dòng)范圍：200mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動(dòng)快進(jìn)，

Y 軸移動(dòng)范圍：100mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動(dòng)快進(jìn)，

測(cè)量精度(3+L/100)um (L: 被測(cè)長(zhǎng)度,um)

落射光測(cè)量誤差≤0.08%

8. Z軸采用裂像法原理進(jìn)行觀察測(cè)量，結(jié)合精密的Z軸導(dǎo)軌，可有效保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。

9.工作臺(tái)尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作臺(tái)承重: 30kg

10.儀器外型尺寸：380mm*550mm*830mm

11.凈重：100kg 毛重：120kg

1.顯微成像系統(tǒng)

1.非接觸式的高度測(cè)量，深度測(cè)量