金屬軟管波紋管

這款產(chǎn)品是超高真空系統(tǒng)專用的全金屬柔性連接部件，是真空?qǐng)鼍袄飳?shí)現(xiàn)管路柔性補(bǔ)償?shù)暮诵呐浼?，適配嚴(yán)苛的高潔凈真空工況。

核心結(jié)構(gòu)：

管身由極薄的高純奧氏體不銹鋼通過液壓脹形一體模壓成型，整根波紋管本體沒有拼接焊縫，波紋應(yīng)力分布均勻，不會(huì)出現(xiàn)應(yīng)力集中導(dǎo)致的開裂問題

兩端搭載標(biāo)準(zhǔn)的CF刀口法蘭，法蘭表面經(jīng)過精密研磨加工，搭配無(wú)氧銅墊圈就能實(shí)現(xiàn)金屬對(duì)金屬的超高真空密封，避免微小漏點(diǎn)

管身布滿連續(xù)均勻的環(huán)形波紋，擁有很強(qiáng)的自由彎折能力，可以輕松彎曲成U型狀態(tài)，適配復(fù)雜的安裝空間布局

部分升級(jí)款的一端法蘭設(shè)計(jì)為可回轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)可以自由對(duì)位，大幅降低管路裝配的對(duì)位難度。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體刻蝕、PVD/CVD薄膜沉積設(shè)備，連接腔體與分子泵、離子泵，保障超高真空環(huán)境的穩(wěn)定性

光學(xué)鍍膜、光伏鈣鈦礦鍍膜等產(chǎn)線，補(bǔ)償管路形變，隔絕泵源振動(dòng)，避免薄膜沉積過程受干擾

高?？蒲械某哒婵諏?shí)驗(yàn)腔體、表面分析儀器、電子束設(shè)備，適配精密實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的復(fù)雜管路布局

航天航空的低溫燃料管路、真空模擬試驗(yàn)裝置，適配深冷、高溫等惡劣工況環(huán)境。