日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計(jì) 日本 ANELVA 寬量程多通道電離真空計(jì)

產(chǎn)品性能

M?431HG 是微型真空規(guī)專用的電離真空計(jì)控制電源，數(shù)字顯示，測(cè)量量程自動(dòng)切換。標(biāo)配 RS?232C 通訊接口與外部 I/O 輸入輸出，支持遠(yuǎn)程完成燈絲啟停、脫氣、量程鎖定等操作；采用寬電壓電源適配，設(shè)備自帶 2 點(diǎn)帶滯回設(shè)定輸出，D/A 模擬輸出 0?10V，支持 Log / 復(fù)合輸出切換。具備燈絲耗材保護(hù)機(jī)制，高壓力工況自動(dòng)關(guān)閉燈絲，柵極通電加熱脫氣，脫氣定時(shí) 3 分鐘，整機(jī)滿足 CE、RoHS 合規(guī)要求，機(jī)架式結(jié)構(gòu)便于機(jī)柜集成。

型號(hào)

型號(hào)：M?431HG

品牌：Canon?ANELVA 佳能安內(nèi)爾巴

備注：標(biāo)準(zhǔn)配置不含真空測(cè)量規(guī)球以及連接電纜，需另行選配。

參數(shù)表

表格

項(xiàng)目參數(shù)

壓力顯示范圍0.01×10??～13.2×10?Pa

壓力表示數(shù)字，測(cè)量范圍自動(dòng)切換

設(shè)定值2 點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)配置（帶滯后）

D/A 輸出Log 或復(fù)合輸出切換（0～10V）

模擬輸出0～10 V（APC 對(duì)應(yīng)出力）

外部控制輸入燈絲 ON/OFF、參數(shù)鎖定，燈絲切換、脫氣 ON/OFF、范圍保持

外部控制輸出設(shè)定點(diǎn) 1、2，燈絲 ON/OFF 狀態(tài)，脫氣狀態(tài)，絲材 1/2 狀態(tài)

通信功能RS232C 標(biāo)準(zhǔn) (9600、4800、2400、1200bps)

外形尺寸104W×99H×296D mm，重量 1.2Kg

功耗50 VA AC90?240V 50/60Hz

發(fā)射電流10μA、100μA、1mA（自動(dòng)切換 / 固定）

脫氣方式柵極通電加熱，通電定時(shí) 3 分鐘

燈絲切換面板按鍵、遠(yuǎn)程 I/O 兩種操作方式

耗材保護(hù)13.3×10?Pa 模式下燈絲自動(dòng)關(guān)閉

合規(guī)CE 認(rèn)證、RoHS

用途

自動(dòng)化真空裝置的壓力測(cè)定

濺射等工藝過(guò)程壓力測(cè)量與控制

多腔體真空系統(tǒng)壓力監(jiān)測(cè)

各類通用工業(yè)真空設(shè)備真空度檢測(cè)

適用行業(yè)：半導(dǎo)體、鍍膜、材料研發(fā)、實(shí)驗(yàn)室真空設(shè)備、工藝設(shè)備集成。

使用說(shuō)明

安裝：設(shè)備為機(jī)架式模塊，安裝于標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜，確認(rèn)通風(fēng)散熱空間，接入 AC90?240V 寬電壓電源。

接線：連接配套真空規(guī)管以及通訊線纜，RS232 接口對(duì)接上位機(jī)，外部 I/O 接線完成遠(yuǎn)程信號(hào)對(duì)接。

開(kāi)機(jī)：接通電源，設(shè)備初始化，確認(rèn)燈絲狀態(tài)；可本地按鍵操作，也可通過(guò)上位機(jī)通訊、外部 I/O 遠(yuǎn)程控制。

測(cè)量：設(shè)備自動(dòng)切換測(cè)量量程，實(shí)時(shí)顯示真空壓力；設(shè)置 SP1、SP2 兩組閾值，輸出開(kāi)關(guān)信號(hào)聯(lián)動(dòng)外部設(shè)備。

脫氣操作：可本地或遠(yuǎn)程啟動(dòng)?xùn)艠O脫氣，脫氣自動(dòng)計(jì)時(shí) 3 分鐘結(jié)束；高壓力條件設(shè)備會(huì)自動(dòng)關(guān)閉燈絲，保護(hù)耗材。

維護(hù)：規(guī)球?qū)儆谙募?，定期檢查更換；設(shè)備本體避免粉塵、腐蝕性氣體侵入。