EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用技術的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學研究反應室。

應用：

    · 靜態(tài) /動態(tài)SIMS 
    · 一般目的的表面分析
    · 整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS 
    · 兼容的離子槍/ FAB 槍 
    · 成分/污染物分析 
    · 深度分析
    · 泄漏檢測
    · 與Hiden SIMS 工作站兼容

特點： 

    · 高靈敏度脈沖離子計數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
    · SIMS 成像，分辨率在微米以下 
    · 光柵控制，增強深度分析能力
    · 45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
    · 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的zui小擾動，及恒定離子傳輸
    · 差式泵3級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
    · 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器
    · Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
    · 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制 

EQS 二次離子質(zhì)譜探針來源于:北京英格海德分析技術有限公司