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外延片烘箱，氮?dú)鉂崈艉嫦?/strong>作用
氮化鎵外延片工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝，主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測(cè)處理等步驟。干燥處理是將清洗后的外延片放入烘箱中，進(jìn)行干燥處理，以去除清洗液中的水分。將所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10～30分鐘。
氮?dú)馐嵌栊詺怏w，不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。在日常生產(chǎn)生活中，氮?dú)獬Ｗ鳛闅庠?，且不與需要?dú)庠吹碾娖骱蜌鈩?dòng)元器件產(chǎn)生氧化和腐蝕，既可杜絕細(xì)菌和噬菌體在元器件中滋生和污染，也可延長(zhǎng)電器元器件和氣動(dòng)元器件使用壽命。氮?dú)鈴V泛存在與大氣中，干燥潔凈且不含水，不含油，因此常作為干燥氣體使用。
目前常用的外延片生產(chǎn)用氮?dú)飧稍锵渫ǔ⑺腿氲臍怏w通過(guò)過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾分散后送入干燥箱箱體內(nèi)部，進(jìn)而對(duì)需要干燥的物體進(jìn)行干燥。
外延片烘箱，氮?dú)鉂崈艉嫦?/strong>性能要求：
溫度范圍：RT～200/300℃；
溫度均勻度：±1.5%℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×500
600×700×800（可定制）
網(wǎng)板：2-4個(gè)
可擴(kuò)展功能：
氧濃度檢測(cè)，無(wú)塵無(wú)氧烘箱
智能聯(lián)網(wǎng)功能，MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件
掃碼槍?zhuān)瑨叽a溯源，一鍵讀取
自動(dòng)門(mén)控，上位機(jī)程控，機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品
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