●操作便捷

集中化顯微鏡操作，調(diào)焦手輪、速度控制、遙控開關(guān)均可實(shí)現(xiàn)單手盲操作，實(shí)現(xiàn)大試樣高精度快速測量。

●電動(dòng)Z軸調(diào)焦

使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。

●穩(wěn)固的機(jī)械機(jī)構(gòu)

充分考慮工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)置減震機(jī)構(gòu)，保證了高水平的重復(fù)性精度。

●高度靈活

模塊化的硬件、功能*的軟件方案，自由搭配成像光路、載物臺(tái)、FA聚焦導(dǎo)航、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、晶圓轉(zhuǎn)盤等。

●高密度拼接

使用高密度拼接功能、多幅圖像可以拼接擴(kuò)展為一幅大視野全景圖像

◆電動(dòng)Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過使用專用的控制器簡化了的垂直移動(dòng)操作。

◆新款測量顯微鏡可配備一個(gè)新型輔助對焦機(jī)構(gòu)，以提供更清晰和更的對焦。相比以前型號，高精度Z軸測量更簡便。

◆得益于各種電動(dòng)控制以及人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，極大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的載物臺(tái)，操作起來也十分得心應(yīng)手。

◆使用數(shù)碼相機(jī)和 M- Inspect 測量軟件進(jìn)行數(shù)字圖像拍攝可通過的自動(dòng)邊緣檢測進(jìn)行快速測量。

◆X、Y和Z軸的較小單位可以在 0.1 μm和0.5μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

HTM系列測量顯微鏡配置參數(shù)