2026年9月9-11日，IICIE國際集成電路創(chuàng)新博覽會（IC創(chuàng)新博覽會）在深圳國際會展中心舉辦。本屆展會呈現(xiàn)芯片及芯片設計、功率半導體、晶圓制造及封裝測試服務、半導體設備、半導體材料、半導體核心零部件等全產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)。



KANOMAX攜塵埃粒子計數(shù)器、熱式風速儀、風速變送器、微差壓計等檢測儀器亮相15B18展位，聚焦晶圓制造、芯片生產(chǎn)等環(huán)境監(jiān)測，針對性化解潔凈車間環(huán)境驗證、日常巡檢、合規(guī)管控等，為集成電路制造的環(huán)境品質保駕護航。



KANOMAX展臺人頭攢動，半導體各產(chǎn)業(yè)鏈來賓紛紛駐足，圍繞潔凈環(huán)境監(jiān)測、氣流管控等行業(yè)痛點展開深度交流，現(xiàn)場探討氛圍濃厚。



工作人員詳解產(chǎn)品性能與應用方案，并現(xiàn)場進行產(chǎn)品演示，觀眾對儀器便捷的操控體驗、可靠的檢測能力給予充分肯定。



在晶圓加工、涂膠顯影、刻蝕、封裝測試等核心制程中，細微懸浮顆粒與氣流紊亂問題極易誘發(fā)晶圓表面污染、圖案畸變與線路缺陷，直接制約芯片良率提升與產(chǎn)品穩(wěn)定性。因此，高精度、全流程的潔凈環(huán)境監(jiān)測與氣流管控，已成為至關重要的關鍵環(huán)節(jié)。



本次KANOMAX展出多款粒子計數(shù)器產(chǎn)品備受關注。全新推出的3901型號塵埃粒子計數(shù)器面向半導體高潔凈場景量身打造，適配晶圓制造、封裝測試全流程檢測，實時管控顆粒物污染，規(guī)避顆粒附著晶圓帶來的產(chǎn)品缺陷，保障工藝精度與生產(chǎn)穩(wěn)定性，助力芯片良率提升。



3901粒子計數(shù)器支持0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、1.0μm粒徑同步監(jiān)測，28.3L/min標準采樣流量，搭載10.1英寸觸控大屏，支持戴手套操作；可導入房間地圖實現(xiàn)測試點位可視化管理，規(guī)避漏測、錯測。同時具備Wi?Fi遠程控制，單機存儲20000組測試記錄，三電池槽保障5小時以上連續(xù)作業(yè)；可選配風速、溫濕度、差壓傳感器及高壓擴散器，一機完成潔凈室綜合性能驗證。



半導體顯影、刻蝕、晶圓切割等關鍵工藝，對潔凈室及設備內部局部風速要求較高，氣流環(huán)境直接決定制程精度、生產(chǎn)良率與芯片可靠性。穩(wěn)定的流場可有效清除刻膠殘渣、刻蝕副產(chǎn)物、切割粉塵等微顆粒，避免污染物附著晶圓引發(fā)制程缺陷。反之，風速偏高、偏低或分布不均等異常情況，都會造成良率下降。

在光刻膠涂布和顯影過程中，行業(yè)多通過風機過濾單元（FFU）高效過濾器（如HEPA或ULPA）營造潔凈生產(chǎn)環(huán)境，有效去除環(huán)境中的顆粒物。KANOMAX 65Ser環(huán)境測試儀有效識別風速異常問題，同步檢測溫濕度、壓力并準確測算風量，搭配8款可互換探頭，憑借高精度、多參數(shù)測量、操作便捷的優(yōu)勢，廣泛應用于半導體制造領域。




KA26/36 熱式風速儀支持藍牙無線通訊，機身便攜，可同步檢測風速、溫度、壓力，探頭可彎曲互換，廣泛應用于潔凈室、工業(yè)通風、空調系統(tǒng)檢測。



全新升級的3887Pro塵埃粒子計數(shù)器，可檢測0.3~5.0μm粒徑，搭載3.5英寸彩色觸控屏，采樣流量2.83L/min，操作簡便、數(shù)據(jù)可靠，適配潔凈環(huán)境巡檢。



3905粒子計數(shù)器，采樣流量28.3L/min，支持6種粒徑0.3 、0.5、 1.0、 3.0、 5.0、10.0μm同步檢測，配備6.4英寸彩色觸摸屏，可存儲萬組數(shù)據(jù)并內置打印機，能夠快速判定潔凈室等級。



展會現(xiàn)場，眾多半導體企業(yè)結合產(chǎn)線建設與提質升級需求，圍繞顆粒智能管控、潔凈廠房標準化建設、設備腔體環(huán)境監(jiān)測等落地細節(jié)展開深度交流，多家企業(yè)達成初步合作意向，后續(xù)將推進技術對接、現(xiàn)場實測與定制化方案落地。



目前KANOMAX檢測設備已服務國內多家頭部半導體企業(yè)，覆蓋潔凈室巡檢、設備點位在線監(jiān)測、排風氣流優(yōu)化、壓差管控等核心場景。



KANOMAX將繼續(xù)打磨精密環(huán)境檢測產(chǎn)品與整體解決方案，立足半導體潔凈檢測賽道，助力國內半導體設備自主創(chuàng)新，為我國芯片產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展貢獻力量。



感謝各位蒞臨加野KANOMAX展臺參觀交流，明日精彩繼續(xù)，讓我們共同見證半導體行業(yè)發(fā)展新征程！